Ki faktè ki afekte anpwazònman sib nan pulverizasyon mayetron?

1, Fòmasyon konpoze metal sou sifas sib la
Ki kote konpoze a fòme nan pwosesis fòmasyon yon konpoze apati yon sifas sib metal pa yon pwosesis pulverizasyon reaktif? Piske reyaksyon chimik ant patikil gaz reaktif yo ak atòm sifas sib la pwodui atòm konpoze, ki anjeneral ègzotèmik, chalè reyaksyon an dwe gen yon fason pou l kondui deyò, sinon reyaksyon chimik la pa ka kontinye. Anba kondisyon vakyòm, transfè chalè ant gaz yo pa posib, kidonk reyaksyon chimik la dwe fèt sou yon sifas solid. Pulverizasyon reyaksyon jenere konpoze sou sifas sib yo, sifas substrats yo, ak lòt sifas estriktirèl yo. Jenere konpoze sou sifas substrats la se objektif la, jenere konpoze sou lòt sifas estriktirèl se yon gaspiyaj resous, epi jenere konpoze sou sifas sib la kòmanse kòm yon sous atòm konpoze epi li vin tounen yon baryè pou kontinye bay plis atòm konpoze.

2, Faktè enpak anpwazònman sib la
Prensipal faktè ki afekte anpwazònman sib la se rapò gaz reyaksyon an ak gaz pulverizasyon an. Twòp gaz reyaksyon ap mennen nan anpwazònman sib la. Pwosesis pulverizasyon reyaktif la fèt nan sifas sib la, zòn kanal pulverizasyon an sanble kouvri pa konpoze reyaksyon an oubyen konpoze reyaksyon an retire epi sifas metal la re-ekspoze. Si vitès jenerasyon konpoze a pi gran pase vitès retire konpoze a, zòn kouvèti konpoze a ogmante. Nan yon sèten puisans, kantite gaz reyaksyon ki enplike nan jenerasyon konpoze a ogmante epi vitès jenerasyon konpoze a ogmante tou. Si kantite gaz reyaksyon an ogmante twòp, zòn kouvèti konpoze a ogmante. Epi si vitès koule gaz reyaksyon an pa ka ajiste alè, vitès ogmantasyon zòn kouvèti konpoze a pa siprime, epi kanal pulverizasyon an ap plis kouvri pa konpoze a. Lè sib pulverizasyon an konplètman kouvri pa konpoze a, sib la konplètman anpwazonnen.

3, Fenomèn anpwazònman sib
(1) Akimilasyon iyon pozitif: Lè sib la anpwazonnen, yon kouch fim izolan fòme sou sifas sib la. Iyon pozitif yo rive sou sifas katod sib la akòz blokaj kouch izolan an. Yo pa antre dirèkteman sou sifas katod sib la, men yo akimile sou sifas sib la, sa ki fasil pou pwodui yon chan frèt pou dechaje ak yon ark elektrik — sa ki anpeche katod la flite.
(2) disparisyon anod: lè sib la anpwazonnen, miray chanm vakyòm ki konekte atè a depoze yon fim izolan tou, sa ki fè elektwon yo pa ka antre nan anod la rive nan anod la, sa ki fòme yon fenomèn disparisyon anod.

4, Eksplikasyon fizik anpwazònman sib la
(1) An jeneral, koyefisyan emisyon elektwon segondè konpoze metal yo pi wo pase sa ki nan metal yo. Apre anpwazònman sib la, sifas sib la se konpoze metalik sèlman, epi apre bonbadman iyon yo fin fè l, kantite elektwon segondè ki lage yo ogmante, sa ki amelyore konduktivite espasyal la epi diminye enpedans plasma a, sa ki mennen nan yon vòltaj pulverizasyon ki pi ba. Sa diminye vitès pulverizasyon an. Anjeneral, vòltaj pulverizasyon pulverizasyon mayetron an se ant 400V-600V, epi lè anpwazònman sib la rive, vòltaj pulverizasyon an siyifikativman redwi.
(2) Vitès pulverizasyon orijinal sib metal la ak sib konpoze a diferan, an jeneral koyefisyan pulverizasyon metal la pi wo pase koyefisyan pulverizasyon konpoze a, kidonk vitès pulverizasyon an ba apre anpwazònman sib la.
(3) Efikasite pulverizasyon gaz pulverizasyon reyaktif la pi ba pase efikasite pulverizasyon gaz inaktif la okòmansman, kidonk pousantaj pulverizasyon konplè a diminye apre pwopòsyon gaz reyaktif la ogmante.

5, Solisyon pou anpwazònman sib
(1) Adopte yon ekipman pou pouvwa mwayen frekans oswa yon ekipman pou pouvwa radyofrekans.
(2) Adopte kontwòl bouk fèmen pou antre gaz reyaksyon an.
(3) Adopte sib doub
(4) Kontwole chanjman mòd kouch la: Anvan kouch la, yo kolekte koub efè isterèz anpwazònman sib la pou yo kontwole koule lè admisyon an nan devan pwodui anpwazònman sib la pou asire ke pwosesis la toujou nan mòd anvan to depo a bese rapidman.

– Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, yon manifakti ekipman kouch vakyòm.