Depozisyon Vapè Chimik Amelyore pa Plasma Chapit 1

Depozisyon Vapè Chimik (CVD). Jan non an sijere a, li se yon teknik ki itilize reyaktif prekisè gazez pou jenere fim solid pa mwayen reyaksyon chimik atomik ak entèmolekilè. Kontrèman ak PVD, pwosesis CVD a sitou fèt nan yon anviwònman ki gen pi gwo presyon (pi ba vakyòm), ak presyon ki pi wo a itilize prensipalman pou ogmante vitès depozisyon fim nan. Depozisyon vapè chimik la ka klase an CVD jeneral (ke yo rele tou CVD tèmik) ak depozisyon vapè chimik amelyore pa plasma (Depozisyon Vapè Chimik Amelyore pa Plasma. PECVD) selon si plasma enplike nan pwosesis depozisyon an. Seksyon sa a konsantre sou teknoloji PECVD ki gen ladan pwosesis PECVD a ak ekipman PECVD ki itilize souvan ak prensip fonksyònman li.

Depozisyon chimik vapè amelyore pa plasma se yon teknik depozisyon chimik vapè fim mens ki itilize plasma egzeyat lumineux pou egzèse yon enfliyans sou pwosesis depozisyon an pandan pwosesis depozisyon chimik vapè presyon ba a ap dewoule. Nan sans sa a, teknoloji CVD konvansyonèl la depann sou tanperati substrat ki pi wo pou reyalize reyaksyon chimik ant sibstans faz gaz yo ak depozisyon fim mens yo, e konsa yo ka rele li teknoloji CVD tèmik.

Nan aparèy PECVD a, presyon gaz k ap travay la se anviwon 5 ~ 500 Pa, epi dansite elektwon ak iyon yo ka rive nan 109 ~ 1012/cm3, alòske enèji mwayèn elektwon yo ka rive nan 1 ~ 10 eV. Sa ki distenge metòd PECVD a ak lòt metòd CVD yo se ke plasma a gen yon gwo kantite elektwon ki gen anpil enèji, ki ka bay enèji aktivasyon ki nesesè pou pwosesis depo vapè chimik la. Kolizyon elektwon ak molekil faz gaz yo ka ankouraje dekonpozisyon, kemosentèz, eksitasyon ak pwosesis iyonizasyon molekil gaz yo, jenere gwoup chimik trè reyaktif, kidonk diminye anpil seri tanperati depo fim mens CVD a, sa ki fè li posib pou reyalize pwosesis CVD a, ki te orijinèlman nesesè pou fèt nan tanperati ki wo, nan tanperati ki ba. Avantaj depo fim mens nan tanperati ki ba a se ke li ka evite difizyon ak reyaksyon chimik ki pa nesesè ant fim nan ak substra a, chanjman estriktirèl ak deteryorasyon fim nan oswa materyèl substra a, ak gwo estrès tèmik nan fim nan ak substra a.

–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua