1. To evaporasyon an pral afekte pwopriyete kouch evapore a
To evaporasyon an gen yon gwo enfliyans sou fim ki depoze a. Paske estrikti kouch ki fòme pa yon to depo ki ba lach epi fasil pou pwodui depo gwo patikil, li trè an sekirite pou chwazi yon to evaporasyon ki pi wo pou asire konpakte estrikti kouch la. Lè presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm lan konstan, to bonbadman substra a gen yon valè konstan. Se poutèt sa, gaz rezidyèl ki genyen nan fim depoze a apre yo fin chwazi yon to depo ki pi wo ap redwi, kidonk diminye reyaksyon chimik ant molekil gaz rezidyèl yo ak patikil fim evapore yo. Kidonk, pite fim depoze a ka amelyore. Li ta dwe remake ke si to depo a twò vit, li ka ogmante estrès entèn fim nan, li pral ogmante domaj nan fim nan, e menm mennen nan kraze fim nan. An patikilye, nan pwosesis plakaj evaporasyon reyaktif, pou fè gaz reyaksyon an reyaji nèt ak patikil materyèl fim evaporasyon an, ou ka chwazi yon to depo ki pi ba. Natirèlman, diferan materyèl chwazi diferan to evaporasyon. Kòm yon egzanp pratik – depo fim reflektif la, si epesè fim nan se 600 × 10-8cm epi tan evaporasyon an se 3s, reflektivite a se 93%. Sepandan, si vitès evaporasyon an ralanti anba menm kondisyon epesè a, li pran 10 minit pou konplete depo fim nan. Nan moman sa a, epesè fim nan rete menm. Sepandan, reflektivite a desann a 68%.
2. Tanperati substrat la pral afekte kouch evaporasyon an
Tanperati substrat la gen yon gwo enfliyans sou kouch evaporasyon an. Molekil gaz rezidyèl ki adsorbe sou sifas substrat la nan tanperati substrat ki wo yo fasil pou retire. Eliminasyon molekil vapè dlo yo espesyalman pi enpòtan. Anplis, nan tanperati ki pi wo, li pa sèlman fasil pou ankouraje transfòmasyon soti nan adsorption fizik rive nan adsorption chimik, kidonk ogmante fòs lyezon ant patikil yo. Anplis, li kapab tou diminye diferans ki genyen ant tanperati rekristalizasyon molekil vapè yo ak tanperati substrat la, kidonk diminye oswa elimine estrès entèn sou koòdone ki baze sou fim nan. Anplis de sa, paske tanperati substrat la gen rapò ak eta kristalin fim nan, li souvan fasil pou fòme kouch amorf oswa mikrokristalin anba kondisyon tanperati substrat ki ba oswa pa gen chofaj. Okontrè, lè tanperati a wo, li fasil pou fòme kouch kristalin. Ogmante tanperati substrat la tou fezab pou amelyore pwopriyete mekanik kouch la. Natirèlman, tanperati substrat la pa ta dwe twò wo pou anpeche evaporasyon kouch la.
3. Presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm nan ap afekte pwopriyete fim nan
Presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm nan gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans manbràn nan. Molekil gaz rezidyèl ki gen yon presyon twò wo pa sèlman fasil pou kolizyone ak patikil evapore yo, sa ki pral diminye enèji sinetik moun ki sou substra a epi afekte adezyon fim nan. Anplis de sa, yon presyon gaz rezidyèl ki twò wo pral seryezman afekte pite fim nan epi diminye pèfòmans kouch la.
4. Efè tanperati evaporasyon sou kouch evaporasyon an
Efè tanperati evaporasyon an sou pèfòmans manbràn lan parèt nan chanjman vitès evaporasyon an avèk tanperati a. Lè tanperati evaporasyon an wo, chalè vaporizasyon an ap diminye. Si materyèl manbràn lan evapore pi wo pase tanperati evaporasyon an, menm yon ti chanjman nan tanperati a ka lakòz yon chanjman byen file nan vitès evaporasyon materyèl manbràn lan. Se poutèt sa, li trè enpòtan pou kontwole tanperati evaporasyon an avèk presizyon pandan depo fim nan pou evite gwo gradyan tanperati lè sous evaporasyon an chofe. Pou materyèl fim ki fasil pou siblime, li trè enpòtan tou pou chwazi materyèl la li menm kòm aparèy chofaj pou evaporasyon ak lòt mezi.
5. Eta netwayaj substrat la ak chanm kouch la ap afekte pèfòmans kouch la.
Nou pa ka inyore efè pwòpte substra a ak chanm kouch la sou pèfòmans kouch la. Li pa sèlman pral afekte seryezman pite fim ki depoze a, men tou li pral diminye adezyon fim nan. Se poutèt sa, pirifikasyon substra a, tretman netwayaj chanm kouch vakyòm nan ak konpozan ki gen rapò ak li yo (tankou ankadreman substra a) ak degazaj sifas la se tout pwosesis endispansab nan pwosesis kouch vakyòm nan.
Dat piblikasyon: 28 Fevriye 2023