Lè depozisyon atòm manbràn yo kòmanse, bonbadman iyon an gen efè sa yo sou koòdone manbràn/substrat la.
(1) Melanj fizik. Akòz enjeksyon iyon ki gen anpil enèji, pulverizasyon atòm yo depoze yo ak enjeksyon rekile atòm sifas yo ak fenomèn kolizyon kaskad la, sa ap lakòz yon melanj ki pa difize nan zòn sifas koòdone manbràn/baz la ant eleman substra yo ak eleman manbràn yo. Efè melanj sa a ap fezab pou fòmasyon yon "kouch pseudo-difizyon" koòdone manbràn/baz la, sa vle di, kouch tranzisyon ant koòdone manbràn/baz la, ki rive jiska kèk mikron epesè. Yon epesè kèk mikromèt, kote nouvo faz ka menm parèt. Sa a trè favorab pou amelyore fòs adezyon koòdone manbràn/baz la.
(2) Difizyon amelyore. Konsantrasyon domaj ki wo nan rejyon ki toupre sifas la ak tanperati ki wo a ogmante vitès difizyon an. Piske sifas la se yon domaj ponktyèl, ti iyon yo gen tandans devye sifas la, epi bonbadman iyon an gen efè pou amelyore plis devyasyon sifas la epi amelyore difizyon mityèl atòm depoze yo ak atòm substrat yo.
(3) Mòd nikleyasyon amelyore. Pwopriyete atòm ki kondanse sou sifas substrat la detèmine pa entèraksyon sifas li ak pwopriyete migrasyon li sou sifas la. Si pa gen okenn entèraksyon fò ant atòm kondanse a ak sifas substrat la, atòm nan ap difize sou sifas la jiskaske li nikleye nan yon pozisyon ki gen anpil enèji oswa li fè kolizyon ak lòt atòm difize. Mòd nikleyasyon sa a rele nikleyasyon ki pa reyaktif. Menm si orijinal la fè pati ka mòd nikleyasyon ki pa reyaktif la, bonbadman iyon sou sifas substrat la ka pwodui plis domaj, ogmante dansite nikleyasyon an, ki pi fezab pou fòmasyon difizyon - mòd nikleyasyon reyaktif.
(4) Retire preferansyèlman atòm ki pa lye avèk yo. Pwopagasyon atòm sifas yo detèmine pa eta lyezon lokal la, epi bonbadman iyon sou sifas la gen plis chans pou pwopaje atòm ki pa lye avèk yo. Efè sa a pi pwononse nan fòmasyon entèfas difizyon-reyaktif.
(5) Amelyorasyon kouvèti sifas la ak amelyorasyon kontou plakaj la. Akòz presyon gaz k ap travay ki wo nan plakaj iyon an, atòm ki evapore oswa ki gaye pa pulverizasyon yo sibi kolizyon ak atòm gaz yo pou amelyore dispèsyon an, sa ki lakòz bon pwopriyete vlope kouch la.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 9 Desanm 2023