Kada započne taloženje membranskih atoma, bombardiranje ionima ima sljedeće učinke na granicu membrana/supstrat.
(1) Fizičko miješanje. Zbog ubrizgavanja visokoenergetskih iona, raspršivanja deponiranih atoma i ubrizgavanja trzaja površinskih atoma te pojave kaskadnog sudara, uzrokovat će nedifuzijsko miješanje u blizini površine sučelja membrana/baza elemenata podloge i membranskih elemenata. Ovaj učinak miješanja pogodovat će stvaranju „pseudo-difuzijskog sloja“ na sučelju membrana/baza, odnosno prijelaznog sloja između sučelja membrana/baza, debljine do nekoliko mikrometara. Debljine nekoliko mikrometara, u kojem se mogu pojaviti čak i nove faze. To je vrlo povoljno za poboljšanje čvrstoće prianjanja sučelja membrana/baza.
(2) Pojačana difuzija. Visoka koncentracija defekata u području blizu površine i visoka temperatura povećavaju brzinu difuzije. Budući da je površina točkasti defekt, mali ioni imaju tendenciju otklanjanja površine, a bombardiranje ionima ima učinak daljnjeg povećanja otklona površine i poboljšanja međusobne difuzije deponiranih i supstratnih atoma.
(3) Poboljšani način nukleacije. Svojstva atoma kondenziranog na površini supstrata određena su njegovom površinskom interakcijom i njegovim migracijskim svojstvima na površini. Ako nema jake interakcije između kondenziranog atoma i površine supstrata, atom će difundirati na površini sve dok ne nukleira na visokoenergetskom položaju ili se ne sudari s drugim difuzirajućim atomima. Ovaj način nukleacije naziva se nereaktivna nukleacija. Čak i ako izvorna nukleacija pripada slučaju nereaktivnog načina nukleacije, bombardiranjem površine supstrata ionima može se stvoriti više defekata, povećavajući gustoću nukleacije, što je pogodnije za stvaranje difuzijsko-reaktivnog načina nukleacije.
(4) Preferencijalno uklanjanje labavo vezanih atoma. Raspršivanje površinskih atoma određeno je lokalnim stanjem veze, a bombardiranje površine ionima vjerojatnije će raspršiti labavo vezane atome. Taj je učinak izraženiji pri stvaranju difuzijski reaktivnih međupovršina.
(5) Poboljšanje površinske pokrivenosti i poboljšanje zaobilaženja prevlake. Zbog visokog radnog tlaka plina kod ionskog prevlačenja, ispareni ili raspršeni atomi podvrgavaju se sudaru s atomima plina radi poboljšanja raspršenja, što rezultira dobrim svojstvima obavijanja premaza.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 09. prosinca 2023.