वैक्यूम वाष्पीकरण चढ़ाना के प्रदर्शन को प्रभावित करने वाले कारक

1. वाष्पीकरण दर वाष्पित कोटिंग के गुणों पर प्रभाव डालेगी

वाष्पीकरण दर का जमा फिल्म पर बहुत प्रभाव पड़ता है। क्योंकि कम जमा दर से बनने वाली कोटिंग संरचना ढीली होती है और बड़े कणों का जमाव आसानी से होता है, इसलिए कोटिंग संरचना की सघनता सुनिश्चित करने के लिए उच्च वाष्पीकरण दर चुनना बहुत सुरक्षित है। जब वैक्यूम चैंबर में अवशिष्ट गैस का दबाव स्थिर होता है, तो सब्सट्रेट की बमबारी दर एक स्थिर मान होती है। इसलिए, उच्च जमा दर का चयन करने के बाद जमा फिल्म में निहित अवशिष्ट गैस कम हो जाएगी, जिससे अवशिष्ट गैस के अणुओं और वाष्पित फिल्म कणों के बीच रासायनिक प्रतिक्रिया कम हो जाएगी। इसलिए, जमा फिल्म की शुद्धता में सुधार किया जा सकता है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि यदि जमाव दर बहुत तेज़ है, तो यह फिल्म के आंतरिक तनाव को बढ़ा सकता है, इससे फिल्म में दोष बढ़ जाएंगे और यहां तक ​​कि फिल्म के टूटने का कारण भी बन सकता है। विशेष रूप से, प्रतिक्रियाशील वाष्पीकरण चढ़ाना की प्रक्रिया में, प्रतिक्रिया गैस को वाष्पीकरण फिल्म सामग्री के कणों के साथ पूरी तरह से प्रतिक्रिया करने के लिए, आप कम जमा दर का चयन कर सकते हैं। बेशक, अलग-अलग सामग्री अलग-अलग वाष्पीकरण दर चुनती हैं। एक व्यावहारिक उदाहरण के रूप में - परावर्तक फिल्म का जमाव, अगर फिल्म की मोटाई 600 × 10-8 सेमी है और वाष्पीकरण का समय 3 सेकंड है, तो परावर्तकता 93% है। हालांकि, अगर एक ही मोटाई की स्थिति के तहत वाष्पीकरण की दर धीमी हो जाती है, तो फिल्म जमाव को पूरा करने में 10 मिनट लगते हैं। इस समय, फिल्म की मोटाई समान है। हालांकि, परावर्तकता 68% तक गिर गई है।

2. सब्सट्रेट तापमान वाष्पीकरण कोटिंग पर प्रभाव डालेगा

वाष्पीकरण कोटिंग पर सब्सट्रेट तापमान का बहुत प्रभाव पड़ता है। उच्च सब्सट्रेट तापमान पर सब्सट्रेट सतह पर अवशोषित अवशिष्ट गैस अणुओं को हटाना आसान होता है। विशेष रूप से जल वाष्प अणुओं का उन्मूलन अधिक महत्वपूर्ण है। इसके अलावा, उच्च तापमान पर, न केवल भौतिक अवशोषण से रासायनिक अवशोषण में परिवर्तन को बढ़ावा देना आसान है, इस प्रकार कणों के बीच बंधन बल में वृद्धि होती है। इसके अलावा, यह वाष्प अणुओं के पुनर्संरचना तापमान और सब्सट्रेट तापमान के बीच के अंतर को भी कम कर सकता है, इस प्रकार फिल्म-आधारित इंटरफ़ेस पर आंतरिक तनाव को कम या समाप्त कर सकता है। इसके अलावा, क्योंकि सब्सट्रेट तापमान फिल्म की क्रिस्टलीय स्थिति से संबंधित है, इसलिए कम सब्सट्रेट तापमान या बिना हीटिंग की स्थिति में अक्सर अनाकार या माइक्रोक्रिस्टलाइन कोटिंग्स बनाना आसान होता है। इसके विपरीत, जब तापमान अधिक होता है, तो क्रिस्टलीय कोटिंग बनाना आसान होता है। सब्सट्रेट तापमान बढ़ाना कोटिंग के यांत्रिक गुणों को बेहतर बनाने के लिए भी अनुकूल है। बेशक, कोटिंग के वाष्पीकरण को रोकने के लिए सब्सट्रेट का तापमान बहुत अधिक नहीं होना चाहिए।

3. निर्वात कक्ष में अवशिष्ट गैस का दबाव फिल्म के गुणों पर प्रभाव डालेगा

वैक्यूम चैंबर में अवशिष्ट गैस का दबाव झिल्ली के प्रदर्शन पर बहुत प्रभाव डालता है। बहुत अधिक दबाव वाले अवशिष्ट गैस के अणु न केवल वाष्पित कणों से टकराने में आसान होते हैं, बल्कि सब्सट्रेट पर लोगों की गतिज ऊर्जा को कम कर देते हैं और फिल्म के आसंजन को प्रभावित करते हैं। इसके अलावा, बहुत अधिक अवशिष्ट गैस का दबाव फिल्म की शुद्धता को गंभीर रूप से प्रभावित करेगा और कोटिंग के प्रदर्शन को कम करेगा।

4. वाष्पीकरण कोटिंग पर वाष्पीकरण तापमान का प्रभाव

वाष्पीकरण तापमान का झिल्ली के प्रदर्शन पर प्रभाव तापमान के साथ वाष्पीकरण दर में परिवर्तन से पता चलता है। जब वाष्पीकरण तापमान अधिक होता है, तो वाष्पीकरण की ऊष्मा कम हो जाएगी। यदि झिल्ली सामग्री वाष्पीकरण तापमान से ऊपर वाष्पित हो जाती है, तो तापमान में थोड़ा सा भी परिवर्तन झिल्ली सामग्री की वाष्पीकरण दर में तेज बदलाव का कारण बन सकता है। इसलिए, वाष्पीकरण स्रोत के गर्म होने पर बड़े तापमान ढाल से बचने के लिए फिल्म के जमाव के दौरान वाष्पीकरण तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करना बहुत महत्वपूर्ण है। फिल्म सामग्री के लिए जो उदात्तीकरण के लिए आसान है, वाष्पीकरण और अन्य उपायों के लिए हीटर के रूप में सामग्री का ही चयन करना भी बहुत महत्वपूर्ण है।

5. सब्सट्रेट और कोटिंग चैम्बर की सफाई की स्थिति कोटिंग के प्रदर्शन पर प्रभाव डालेगी

सब्सट्रेट और कोटिंग चैंबर की सफाई का कोटिंग के प्रदर्शन पर प्रभाव को नजरअंदाज नहीं किया जा सकता है। यह न केवल जमा फिल्म की शुद्धता को गंभीर रूप से प्रभावित करेगा, बल्कि फिल्म के आसंजन को भी कम करेगा। इसलिए, सब्सट्रेट की शुद्धि, वैक्यूम कोटिंग चैंबर और इसके संबंधित घटकों (जैसे सब्सट्रेट फ्रेम) की सफाई उपचार और सतह degassing सभी वैक्यूम कोटिंग प्रक्रिया में अपरिहार्य प्रक्रियाएं हैं।