जब झिल्ली परमाणुओं का जमाव शुरू होता है, तो आयन बमबारी का झिल्ली/सब्सट्रेट इंटरफेस पर निम्नलिखित प्रभाव पड़ता है।
(1) भौतिक मिश्रण। उच्च ऊर्जा आयन इंजेक्शन, जमा परमाणुओं के स्पटरिंग और सतह परमाणुओं के रिकॉइल इंजेक्शन और कैस्केड टकराव की घटना के कारण, सब्सट्रेट तत्वों और गैर-प्रसार मिश्रण के झिल्ली तत्वों के झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस के निकट-सतह क्षेत्र का कारण होगा, यह मिश्रण प्रभाव झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस "छद्म-प्रसार परत" के गठन के लिए अनुकूल होगा, अर्थात, झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस के बीच संक्रमण परत, कुछ माइक्रोन मोटी तक। कुछ माइक्रोमीटर मोटी, जिसमें नए चरण भी दिखाई दे सकते हैं। यह झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस की आसंजन शक्ति में सुधार करने के लिए बहुत अनुकूल है।
(2) बढ़ा हुआ प्रसार। निकट-सतह क्षेत्र में उच्च दोष सांद्रता और उच्च तापमान प्रसार दर को बढ़ाते हैं। चूँकि सतह एक बिंदु दोष है, इसलिए छोटे आयनों में सतह को विक्षेपित करने की प्रवृत्ति होती है, और आयन बमबारी का प्रभाव सतह विक्षेपण को और बढ़ाने और जमा और सब्सट्रेट परमाणुओं के आपसी प्रसार को बढ़ाने का होता है।
(3) बेहतर न्यूक्लिएशन मोड। सब्सट्रेट सतह पर संघनित परमाणु के गुण इसकी सतह की परस्पर क्रिया और सतह पर इसके प्रवास गुणों से निर्धारित होते हैं। यदि संघनित परमाणु और सब्सट्रेट की सतह के बीच कोई मजबूत अंतःक्रिया नहीं है, तो परमाणु सतह पर तब तक विसरित होगा जब तक कि यह उच्च-ऊर्जा स्थिति में नाभिक नहीं बन जाता या अन्य विसरित परमाणुओं से टकरा नहीं जाता। न्यूक्लिएशन के इस मोड को गैर-प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएशन कहा जाता है। भले ही मूल गैर-प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएशन मोड के मामले से संबंधित हो, सब्सट्रेट सतह पर आयन बमबारी से अधिक दोष उत्पन्न हो सकते हैं, जिससे न्यूक्लिएशन घनत्व बढ़ जाता है, जो विसरण-प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएशन मोड के गठन के लिए अधिक अनुकूल है।
(4) शिथिल रूप से बंधे परमाणुओं का अधिमान्य निष्कासन। सतह परमाणुओं का स्पटरिंग स्थानीय बंधन अवस्था द्वारा निर्धारित होता है, और सतह पर आयन बमबारी से शिथिल रूप से बंधे परमाणुओं के बाहर निकलने की अधिक संभावना होती है। यह प्रभाव प्रसार-प्रतिक्रियाशील इंटरफेस के निर्माण में अधिक स्पष्ट होता है।
(5) सतह कवरेज में सुधार और प्लेटिंग बाईपास की वृद्धि। आयन प्लेटिंग के उच्च कार्यशील गैस दबाव के कारण, वाष्पित या छिड़के हुए परमाणुओं को बिखराव को बढ़ाने के लिए गैस परमाणुओं के साथ टकराव के अधीन किया जाता है, जिसके परिणामस्वरूप अच्छी कोटिंग रैप-अराउंड गुण होते हैं।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: दिसम्बर-09-2023