જ્યારે પટલ પરમાણુઓનું નિક્ષેપણ શરૂ થાય છે, ત્યારે આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ પટલ/સબસ્ટ્રેટ ઇન્ટરફેસ પર નીચેની અસરો ધરાવે છે.
(૧) ભૌતિક મિશ્રણ. ઉચ્ચ-ઊર્જા આયન ઇન્જેક્શન, જમા થયેલા અણુઓનું સ્પટરિંગ અને સપાટીના અણુઓના રિકોઇલ ઇન્જેક્શન અને કાસ્કેડ અથડામણની ઘટનાને કારણે, સબસ્ટ્રેટ તત્વોના પટલ/બેઝ ઇન્ટરફેસના નજીકના સપાટી વિસ્તાર અને બિન-પ્રસરણ મિશ્રણના પટલ તત્વોનું કારણ બનશે, આ મિશ્રણ અસર પટલ/બેઝ ઇન્ટરફેસ "સ્યુડો-ડિફ્યુઝન લેયર" ની રચના માટે અનુકૂળ રહેશે, એટલે કે, પટલ/બેઝ ઇન્ટરફેસ વચ્ચે સંક્રમણ સ્તર, થોડા માઇક્રોન જાડા સુધી. થોડા માઇક્રોમીટર જાડા, જેમાં નવા તબક્કાઓ પણ દેખાઈ શકે છે. પટલ/બેઝ ઇન્ટરફેસની સંલગ્નતા શક્તિને સુધારવા માટે આ ખૂબ જ અનુકૂળ છે.
(2) વધુ પ્રસરણ. નજીકના સપાટીના ક્ષેત્રમાં ખામીની ઊંચી સાંદ્રતા અને ઉચ્ચ તાપમાન પ્રસરણ દરમાં વધારો કરે છે. સપાટી એક બિંદુ ખામી હોવાથી, નાના આયનો સપાટીને વિચલિત કરવાની વૃત્તિ ધરાવે છે, અને આયન બોમ્બમારાથી સપાટીના વિચલનને વધુ વધારવામાં અને જમા થયેલા અને સબસ્ટ્રેટ પરમાણુઓના પરસ્પર પ્રસરણમાં વધારો થાય છે.
(૩) સુધારેલ ન્યુક્લિયેશન મોડ. સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર ઘટ્ટ થયેલા અણુના ગુણધર્મો તેની સપાટીની ક્રિયાપ્રતિક્રિયા અને સપાટી પરના તેના સ્થળાંતર ગુણધર્મો દ્વારા નક્કી થાય છે. જો ઘટ્ટ અણુ અને સબસ્ટ્રેટની સપાટી વચ્ચે કોઈ મજબૂત ક્રિયાપ્રતિક્રિયા ન હોય, તો અણુ સપાટી પર ફેલાયેલો રહેશે જ્યાં સુધી તે ઉચ્ચ-ઊર્જા સ્થાન પર ન્યુક્લિયેટ ન થાય અથવા અન્ય પ્રસરતા અણુઓ સાથે અથડાય નહીં. ન્યુક્લિયેશનના આ મોડને બિન-પ્રતિક્રિયાશીલ ન્યુક્લિયેશન કહેવામાં આવે છે. જો મૂળ નોન-પ્રતિક્રિયાશીલ ન્યુક્લિયેશન મોડના કિસ્સામાં હોય, તો પણ સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર આયન બોમ્બમારો કરીને વધુ ખામીઓ ઉત્પન્ન થઈ શકે છે, ન્યુક્લિયેશન ઘનતામાં વધારો થાય છે, જે પ્રસરણ - પ્રતિક્રિયાશીલ ન્યુક્લિયેશન મોડની રચના માટે વધુ અનુકૂળ છે.
(૪) છૂટાછવાયા બંધાયેલા પરમાણુઓનું પસંદગીયુક્ત નિરાકરણ. સપાટીના પરમાણુઓનું છંટકાવ સ્થાનિક બંધન સ્થિતિ દ્વારા નક્કી થાય છે, અને સપાટી પર આયન બોમ્બમારો કરવાથી છૂટાછવાયા બંધાયેલા પરમાણુઓ બહાર નીકળવાની શક્યતા વધુ હોય છે. પ્રસરણ-પ્રતિક્રિયાશીલ ઇન્ટરફેસોની રચનામાં આ અસર વધુ સ્પષ્ટ થાય છે.
(5) સપાટીના કવરેજમાં સુધારો અને પ્લેટિંગ બાયપાસમાં વધારો. આયન પ્લેટિંગના ઉચ્ચ કાર્યકારી ગેસ દબાણને કારણે, બાષ્પીભવન થયેલા અથવા છુટા પડેલા અણુઓને સ્કેટરિંગ વધારવા માટે ગેસ પરમાણુઓ સાથે અથડામણનો ભોગ બને છે, જેના પરિણામે સારી કોટિંગ રેપ-અરાઉન્ડ ગુણધર્મો પ્રાપ્ત થાય છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: ડિસેમ્બર-09-2023