A estrutura da fonte de evaporación por quecemento por resistencia é simple, doada de usar, doada de fabricar, e é o tipo de fonte de evaporación máis empregado. Normalmente chámase xerador de calor ou barco de evaporación.
Os requisitos de quecemento do material de resistencia empregado son: alta temperatura, resistividade, baixa presión de vapor a altas temperaturas, sen reacción química co material da membrana, sen desgasificación nin contaminación. Os materiais de quecemento por resistencia escóllense principalmente a partir de metais refractarios, como W, Mo, Ta e outros materiais, ou selección de grafito de alta pureza e alta resistencia ou nitruro de boro, cerámica condutora sintética e outros materiais. Ás veces, tamén se pode escoller Fe, Ni, aliaxe de Ni-Cr e Pt como material fonte de evaporación.
Varias fontes de evaporación por quecemento por resistencia de materiais comúns (como Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) teñen unha curva de relación entre o punto de fusión, a presión de vapor e a temperatura. Entre eles, o volframio vólvese fráxil cando se quenta á temperatura de evaporación debido ao produto de unión de quecemento. O molibdeno, pola súa banda, varía en pureza, e algúns vólvense fráxiles e outros non. O volframio reacciona co vapor de auga para formar o composto volátil de osíxeno WO3.
Polo tanto, cando o volframio se quenta en vapor de auga residual, o material quentado esgótase continuamente. Cando a presión do gas residual é baixa, non hai moita perda de material, pero supón unha contaminación grave da membrana.
Ao usar fontes filamentosas, débese prestar atención á humidade do fío quente no material da membrana. Por exemplo, se a temperatura do fío quente aumenta demasiado rápido, o material da membrana non pode fundir inmediatamente todo o material da membrana e a humidade do fío quente non é suficiente. Como resultado, a película non fundida pode caer da cesta de arame. Ao mesmo tempo, un aumento de temperatura demasiado rápido tamén fará que o gas do material da membrana se libere rapidamente, o que provocará burbullas ou salpicaduras, o que fará que se formen pequenas gotas que se peguen ao substrato. Polo tanto, as fontes de filamento deben usarse con control de temperatura.
A principal desvantaxe das cestas de arame, as bobinas cónicas ou as bobinas en espiral é que a cantidade de material de película de soporte é demasiado pequena, e esta fonte fará que a temperatura do arame quente aumente a medida que a cantidade de material de película diminúe despois de que este se evapore, o que provocará que a taxa de evaporación aumente. Este tamén é un problema que se debe ter en conta para o proceso de fabricación de películas que require un control estrito da taxa de evaporación.
(2) O principio de funcionamento e a forma da estrutura e as características de uso
Fonte de evaporación por quentamento por resistencia, de feito, é un quentador de resistencia que utiliza un xerador de calor ou un barco de evaporación directamente energizado, de xeito que a corrente a través dun gran número de Joules de calor e alcanza unha alta temperatura para fundir o material da película metálica, de xeito que a súa evaporación é un tipo de fonte de evaporación.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 23 de febreiro de 2024