1, Cruthachadh choimeasgaidhean meatailt air uachdar an targaid
Càite a bheil an todhar a chaidh a chruthachadh ann am pròiseas cruthachadh todhar bho uachdar targaid meatailt le pròiseas sputtering ath-ghnìomhach? Leis gu bheil an ath-bhualadh ceimigeach eadar na mìrean gas ath-ghnìomhach agus dadaman uachdar an targaid a’ toirt a-mach dadaman todhar, a tha mar as trice eas-theirmeach, feumaidh dòigh a bhith aig teas an ath-bhualadh airson a ghiùlan a-mach, air neo chan urrainn don ath-bhualadh ceimigeach leantainn air adhart. Fo chumhachan falamh, chan eil gluasad teas eadar gasaichean comasach, agus mar sin feumaidh an ath-bhualadh ceimigeach tachairt air uachdar cruaidh. Bidh sputtering ath-bhualadh a’ gineadh choimeasgaidhean air uachdaran targaid, uachdaran bun-strat, agus uachdaran structarail eile. Is e an t-amas todhar a chruthachadh air uachdar an t-substrate, tha gineadh choimeasgaidhean air uachdaran structarail eile na sgudal ghoireasan, agus bidh gineadh choimeasgaidhean air uachdar an targaid a’ tòiseachadh mar thùs dadaman todhar agus a’ fàs na bhacadh air a bhith a’ toirt seachad barrachd dadaman todhar gu leantainneach.
2, Na factaran buaidh a th’ aig puinnseanachadh targaid
Is e am prìomh fhactar a bheir buaidh air puinnseanachadh an targaid an co-mheas eadar gas ath-bhualadh agus gas sputtering, agus bidh cus gas ath-bhualadh ag adhbhrachadh puinnseanachadh an targaid. Thèid am pròiseas sputtering ath-ghnìomhach a dhèanamh air uachdar an targaid agus tha coltas gu bheil an raon sianal sputtering còmhdaichte leis a’ cho-thàthadh ath-bhualadh no ma thèid an co-thàthadh ath-bhualadh a rùsgadh agus an uachdar meatailt ath-nochdadh. Ma tha an ìre gineadh co-thàthaidh nas motha na an ìre rùsgadh co-thàthaidh, bidh an raon còmhdaich co-thàthaidh ag àrdachadh. Aig cumhachd sònraichte, bidh an ìre de ghas ath-bhualadh a tha an sàs ann an gineadh a’ cho-thàthaidh ag àrdachadh agus bidh an ìre gineadh co-thàthaidh ag àrdachadh. Ma dh’àrdaicheas an ìre de ghas ath-bhualadh cus, bidh an raon còmhdaich co-thàthaidh ag àrdachadh. Agus mura h-urrainnear ìre sruthadh a’ ghas ath-bhualadh atharrachadh ann an tìm, chan eil an ìre àrdachadh ann an raon còmhdaich a’ cho-thàthaidh air a chumail fodha, agus bidh an sianal sputtering air a chòmhdach nas fhaide leis a’ cho-thàthadh. Nuair a bhios an targaid sputtering air a chòmhdach gu tur leis a’ cho-thàthadh, bidh an targaid air a phuinnseanachadh gu tur.
3, Feinimean puinnseanachadh targaid
(1) cruinneachadh ian dearbhach: nuair a bhios an targaid air a phuinnseanachadh, cruthaichidh sreath de fhilm inslitheachaidh air uachdar an targaid, agus ruigidh ianan dearbhach uachdar targaid a’ chatòid air sgàth bacadh an t-sreath inslitheachaidh. Chan eil iad a’ dol a-steach gu dìreach do uachdar targaid a’ chatòid, ach a’ cruinneachadh air uachdar an targaid, agus mar sin bidh e furasta raon fuar a chruthachadh gus sgaoileadh arc a chruthachadh — arc, agus mar sin cha bhith an catòid a’ sputteradh a’ dol air adhart.
(2) Dol à bith an anòd: nuair a bhios an targaid puinnseanta, bidh am film inslitheach cuideachd air a thasgadh air balla an t-seòmair falamh, agus mar sin chan urrainn dha na dealanan a dhol a-steach don anòd, agus mar sin bidh an anòd a’ dol à bith.
4, Mìneachadh corporra air puinnseanachadh targaid
(1) San fharsaingeachd, tha co-èifeachd sgaoilidh dealan àrd-sgoile choimeasgaidhean meatailt nas àirde na co-èifeachd sgaoilidh mheatailtean. Às dèidh puinnseanachadh targaid, tha uachdar na targaid uile air a dhèanamh suas de choimeasgaidhean meatailt, agus às dèidh dha a bhith air a bhomadh le ianan, bidh an àireamh de dhealanan àrd-sgoile a thèid a leigeil ma sgaoil ag àrdachadh, a leasaicheas seoltachd an fhànais agus a lughdaicheas an impedance plasma, a’ leantainn gu bholtaids sputtering nas ìsle. Bidh seo a’ lughdachadh an ìre sputtering. San fharsaingeachd, tha bholtaids sputtering sputtering magnetron eadar 400V-600V, agus nuair a thachras puinnseanachadh targaid, bidh am bholtaids sputtering air a lùghdachadh gu mòr.
(2) Tha an ìre spùtaidh tùsail eadar-dhealaichte aig targaid meatailt agus targaid cho-thàthaichte, san fharsaingeachd tha co-èifeachd spùtaidh meatailt nas àirde na co-èifeachd spùtaidh a’ cho-thàthaichte, agus mar sin tha an ìre spùtaidh ìosal às dèidh puinnseanachadh an targaid.
(3) Tha èifeachdas sputtering gas sputtering ath-ghnìomhach nas ìsle an toiseach na èifeachdas sputtering gas neo-ghnìomhach, agus mar sin bidh an ìre sputtering iomlan a’ lùghdachadh às deidh don chuibhreann de ghas ath-ghnìomhach àrdachadh.
5, Fuasglaidhean airson puinnseanachadh targaid
(1) Cleachd solar cumhachd tricead meadhanach no solar cumhachd tricead rèidio.
(2) Gabh ri smachd lùb dùinte air sruthadh a-steach gas an ath-bhualaidh.
(3) Gabh ri targaidean càraid
(4) Smachd a chumail air atharrachadh modh còtaidh: Mus tèid còtadh, thèid lùb buaidh hysteresis puinnseanachadh targaid a chruinneachadh gus am bi smachd air sruth an adhair a-steach aig aghaidh cinneasachadh puinnseanachadh targaid gus dèanamh cinnteach gu bheil am pròiseas an-còmhnaidh sa mhodh mus tuit an ìre tasgadh gu geur.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, neach-dèanamh uidheamachd còmhdach falamh.
Àm puist: 07 Samhain, 2022