Tha dà phrìomh dhòigh ann airson tasgadh le taic gathan ian, is e aon dhiubh hibrid fiùghantach; is e am fear eile hibrid statach. Tha a’ chiad fhear a’ toirt iomradh air an fhilm anns a’ phròiseas fàis far a bheil lùth sònraichte agus sruth gathan de bhomadh ian agus film an-còmhnaidh an cois a’ phròiseict fàis; tha an tè mu dheireadh air a cur ro-làimh air uachdar an t-substrate le sreath de thiughas nas lugha na beagan nanometers den t-sreath film, agus an uairsin bomadh ian fiùghantach, agus faodar a dhèanamh a-rithist grunn thursan gus am fàs an t-sreath film.
Tha lùths gath ian a thèid a thaghadh airson tasgadh fhilmichean tana le taic gath ian anns an raon 30 eV gu 100 keV. Tha an raon lùtha a thèid a thaghadh an urra ris an t-seòrsa tagraidh airson a bheil am film ga cho-chur. Mar eisimpleir, bu chòir lùth bomadh nas àirde a thaghadh airson ullachadh dìon-creimeadh, caitheamh an-aghaidh meacanaigeach, còtaichean sgeadachaidh agus filmichean tana eile. Tha deuchainnean a’ sealltainn, leithid taghadh lùth 20 gu 40keV de bhomadh gath ian, nach toir stuth an t-substrate agus am film fhèin buaidh air coileanadh agus cleachdadh a’ mhillidh. Ann an ullachadh fhilmichean tana airson innealan optigeach agus dealanach, bu chòir tasgadh le taic gath ian le lùth nas ìsle a thaghadh, a tha chan ann a-mhàin a’ lughdachadh an adsorption solais agus a’ seachnadh cruthachadh lochdan gnìomhach le dealan, ach cuideachd a’ comasachadh cruthachadh structar staid sheasmhach a’ membran. Tha sgrùdaidhean air sealltainn gum faighear filmichean le feartan sàr-mhath le bhith a’ taghadh lùths ian nas ìsle na 500 eV.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 11 Màrt 2024