- Teicneòlas CVD teirmeach
’S e còtaichean ceirmeag meatailt (TiN, msaa.) a th’ ann am còtaichean cruaidh sa mhòr-chuid, a tha air an cruthachadh le ath-bhualadh meatailt anns a’ chòtadh agus gasachadh ath-ghnìomhach. An toiseach, chaidh teicneòlas CVD teirmeach a chleachdadh gus lùth gnìomhachaidh ath-bhualadh measgaichte a thoirt seachad le lùth teirmeach aig teòthachd àrd de 1000 ℃. Chan eil an teòthachd seo freagarrach ach airson TiN agus còtaichean cruaidh eile a thasgadh air innealan carbide saimeantaichte. Gu ruige seo, tha e fhathast na theicneòlas cudromach airson còtaichean co-dhèanta TiN – Al2O3 a thasgadh air cinn innealan carbide saimeantaichte.

- Còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian stuagh uèir teth
Anns na 1980an, chaidh còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian arc uèir theth a chleachdadh gus innealan gearraidh còmhdaichte a thasgadh. Tha an dà theicneòlas còmhdach ian sgaoilidh arc seo, le ìre ianachaidh meatailt suas ri 20% ~ 40%.
- Còmhdach ian arc catod
Tha nochdadh còmhdach ian arc cathodic air leantainn gu leasachadh teicneòlais airson còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean. Tha an ìre ianachaidh aig còmhdach ian arc cathodic eadar 60% agus 90%, a’ leigeil le àireamh mhòr de ianan meatailt agus ianan gas ath-bhualadh ruighinn uachdar a’ phìos obrach agus gnìomhachd àrd a chumail suas fhathast, agus mar thoradh air sin bidh tasgadh ath-bhualadh ann agus cruthachadh còmhdach cruaidh leithid TiN. An-dràsta, thathas a’ cleachdadh teicneòlas còmhdach ian arc cathodic sa mhòr-chuid airson còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean.
’S e stòr falmhachaidh staid chruaidh a th’ anns an stòr bogha catod gun amar leaghte stèidhichte, agus faodar suidheachadh an stòr bogha a chuir gu neo-riaghailteach, a’ leasachadh ìre cleachdaidh àite an t-seòmair còmhdaich agus a’ meudachadh comas luchdachadh an àmhainn. Tha cumaidhean stòran bogha catod a’ toirt a-steach stòran bogha catod cruinn beaga, stòran bogha colbhach, agus stòran bogha mòra còmhnard ceart-cheàrnach. Faodar diofar phàirtean de stòran bogha beaga, stòran bogha colbhach, agus stòran bogha mòra a chuir air dòigh air leth gus filmichean ioma-fhilleadh agus filmichean ioma-fhilleadh nano a thasgadh. Aig an aon àm, air sgàth an ìre àrd ianachaidh meatailt de chòmhdach ian bogha catodic, faodaidh ianan meatailt barrachd ghasan ath-bhualadh a ghabhail a-steach, agus mar thoradh air sin tha raon pròiseas farsaing agus obrachadh sìmplidh ann gus còmhdach cruaidh sàr-mhath fhaighinn. Ach, tha boinneagan garbha ann am meanbh-structar an t-sreath còmhdaich a gheibhear le còmhdach ian bogha catodic. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, tha mòran theicneòlasan ùra air nochdadh gus structar an t-sreath film a leasachadh, a tha air càileachd film còmhdach ian bogha a leasachadh.
Àm puist: 20 Iuchar 2023
