Tá dhá phríomhmhodh taiscthe le cúnamh bhíoma ian ann, ceann amháin is ea hibrideach dinimiciúil; an ceann eile is ea hibrideach statach. Tagraíonn an chéad cheann don phróiseas fáis a bhíonn i gcónaí ag gabháil le fuinneamh agus sruth bhíoma áirithe de bhuamadh ian agus scannán; déantar réamhthaisceadh ar dhromchla an tsubstráit le sraith scannáin nach bhfuil chomh tiúsach le cúpla nanaiméadar, agus ansin déantar buamadh ian dinimiciúil, agus is féidir é seo a athdhéanamh go minic agus fás na sraithe scannáin a mhéadú.
Tá na fuinnimh bhíoma ian a roghnaítear le haghaidh taisceadh scannán tanaí le cúnamh bhíoma ian sa raon 30 eV go 100 keV. Braitheann an raon fuinnimh a roghnaítear ar an gcineál feidhme a bhfuil an scannán á shintéisiú dó. Mar shampla, ba cheart fuinneamh buamála níos airde a roghnú agus scannáin tanaí eile á n-ullmhú le haghaidh cosaint creimeadh, caitheamh frithmheicniúil, bratuithe maisiúla agus scannáin tanaí eile. Léiríonn turgnaimh, amhail rogha fuinnimh 20 go 40keV den bhuamála bhíoma ian, nach ndéanfaidh ábhar an tsubstráit ná an scannán féin difear do fheidhmíocht ná d'úsáid an damáiste. Agus scannáin tanaí á n-ullmhú le haghaidh gléasanna optúla agus leictreonacha, ba cheart taisceadh le cúnamh bhíoma ian le fuinneamh níos ísle a roghnú, rud a laghdaíonn ní hamháin an t-ionsú solais agus a sheachnaíonn foirmiú lochtanna leictreachghníomhacha, ach a éascaíonn foirmiú struchtúr stáit sheasmhach an scannáin freisin. Léirigh staidéir gur féidir scannáin le hairíonna den scoth a fháil trí fhuinnimh ian níos ísle ná 500 eV a roghnú.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 11 Márta 2024