1. Ferdampingssnelheid sil ynfloed hawwe op de eigenskippen fan ferdampte coating
De ferdampingssnelheid hat in grutte ynfloed op 'e ôfsette film. Omdat de coatingstruktuer dy't foarme wurdt troch in lege ôfsettingssnelheid los is en maklik grutte dieltsjes ôfsetting produseart, is it tige feilich om in hegere ferdampingssnelheid te kiezen om de kompaktheid fan 'e coatingstruktuer te garandearjen. As de druk fan it oerbleaune gas yn 'e fakuümkeamer konstant is, is de bombardemintsnelheid fan it substraat in konstante wearde. Dêrom sil it oerbleaune gas dat befette is yn 'e ôfsette film nei it selektearjen fan in hegere ôfsettingssnelheid wurde fermindere, wêrtroch't de gemyske reaksje tusken de oerbleaune gasmolekulen en de ferdampte filmdieltsjes wurdt fermindere. Dêrom kin de suverens fan 'e ôfsette film wurde ferbettere. It moat opmurken wurde dat as de ôfsettingssnelheid te fluch is, it de ynterne spanning fan 'e film kin ferheegje, it sil tanimme fan defekten yn 'e film, en sels liede ta it brekken fan 'e film. Benammen yn it proses fan reaktive ferdampingsplating, om it reaksjegas folslein te reagearjen mei de dieltsjes fan it ferdampingsfilmmateriaal, kinne jo in legere ôfsettingssnelheid kieze. Fansels kieze ferskate materialen ferskillende ferdampingssnelheden. As in praktysk foarbyld - it ôfsetten fan 'e reflektearjende film, as de filmdikte 600 × 10-8 sm is en de ferdampingstiid 3 sekonden is, is de reflektiviteit 93%. As de ferdampingssnelheid lykwols ûnder deselde dikte-omstannichheden fertrage wurdt, duorret it 10 minuten om de filmôfsetting te foltôgjen. Op dit stuit is de filmdikte itselde. De reflektiviteit is lykwols sakke nei 68%.
2. Substraattemperatuer sil ynfloed hawwe op ferdampingscoating
De substraattemperatuer hat in grutte ynfloed op 'e ferdampingscoating. De oerbleaune gasmolekulen dy't by hege substraattemperatuer op it substraatoerflak adsorbearre binne, binne maklik te ferwiderjen. Benammen it eliminearjen fan wetterdampmolekulen is wichtiger. Boppedat is it by hegere temperatueren net allinich maklik om de transformaasje fan fysike adsorpsje nei gemyske adsorpsje te befoarderjen, wêrtroch't de bindingskrêft tusken dieltsjes tanimt. Boppedat kin it ek it ferskil tusken de rekristallisaasjetemperatuer fan dampmolekulen en de substraattemperatuer ferminderje, wêrtroch't de ynterne spanning op 'e film-basearre ynterface fermindere of eliminearre wurdt. Derneist, om't de substraattemperatuer relatearre is oan 'e kristallijne steat fan' e film, is it faak maklik om amorfe of mikrokristallijne coatings te foarmjen ûnder de betingst fan lege substraattemperatuer of gjin ferwaarming. Krektoarsom, as de temperatuer heech is, is it maklik om in kristallijne coating te foarmjen. It ferheegjen fan 'e substraattemperatuer is ek geunstich foar it ferbetterjen fan' e meganyske eigenskippen fan 'e coating. Fansels moat de substraattemperatuer net te heech wêze om ferdamping fan' e coating te foarkommen.
3. Restgasdruk yn fakuümkeamer sil ynfloed hawwe op filmeigenskippen
De druk fan it oerbleaune gas yn 'e fakuümkeamer hat in grutte ynfloed op 'e prestaasjes fan it membraan. De oerbleaune gasmolekulen mei te hege druk kinne net allinich maklik botsje mei de ferdampende dieltsjes, wat de kinetische enerzjy fan 'e minsken op it substraat sil ferminderje en de adhesion fan 'e film sil beynfloedzje. Derneist sil in te hege oerbleaune gasdruk de suverens fan 'e film serieus beynfloedzje en de prestaasjes fan 'e coating ferminderje.
4. Effekt fan ferdampingstemperatuer op ferdampingscoating
It effekt fan ferdampingstemperatuer op membraanprestaasjes wurdt werjûn troch de feroaring fan ferdampingssnelheid mei de temperatuer. As de ferdampingstemperatuer heech is, sil de ferdampingswaarmte ôfnimme. As it membraanmateriaal boppe de ferdampingstemperatuer ferdampt, kin sels in lytse temperatuerferoaring in skerpe feroaring yn 'e ferdampingssnelheid fan it membraanmateriaal feroarsaakje. Dêrom is it tige wichtich om de ferdampingstemperatuer sekuer te kontrolearjen tidens it ôfsetten fan 'e film om in grutte temperatuergradiïnt te foarkommen as de ferdampingsboarne ferwaarme wurdt. Foar it filmmateriaal dat maklik te sublimearjen is, is it ek tige wichtich om it materiaal sels te kiezen as de ferwaarmingsmiddel foar ferdamping en oare maatregels.
5. De skjinmeitsstatus fan it substraat en de coatingkeamer sil ynfloed hawwe op de coatingprestaasjes.
It effekt fan 'e suverens fan it substraat en de coatingkeamer op 'e prestaasjes fan' e coating kin net negearre wurde. It sil net allinich de suverens fan 'e ôfsette film serieus beynfloedzje, mar ek de adhesion fan' e film ferminderje. Dêrom binne de suvering fan it substraat, de reinigingsbehanneling fan 'e fakuümcoatingkeamer en syn relatearre komponinten (lykas it substraatframe) en it oerflakûntgassen allegear ûnmisbere prosessen yn it fakuümcoatingproses.
Pleatsingstiid: 28 febrewaris 2023