وقتی رسوب اتمهای غشا آغاز میشود، بمباران یونی اثرات زیر را بر سطح مشترک غشا/بستر دارد.
(1) اختلاط فیزیکی. به دلیل تزریق یونهای پرانرژی، کندوپاش اتمهای رسوبشده و تزریق پسزنی اتمهای سطحی و پدیده برخورد آبشاری، باعث ایجاد اختلاط غیر نفوذی در سطح نزدیک به سطح فصل مشترک غشاء/بازه بین عناصر زیرلایه و عناصر غشایی میشود. این اثر اختلاط منجر به تشکیل «لایه شبه نفوذی» فصل مشترک غشاء/بازه، یعنی لایه انتقالی بین فصل مشترک غشاء/بازه، تا ضخامت چند میکرون میشود. ضخامت چند میکرومتر، که در آن حتی ممکن است فازهای جدید ظاهر شوند. این امر برای بهبود استحکام چسبندگی فصل مشترک غشاء/بازه بسیار مطلوب است.
(2) افزایش نفوذ. غلظت بالای نقص در ناحیه نزدیک سطح و دمای بالا، نرخ نفوذ را افزایش میدهد. از آنجایی که سطح یک نقص نقطهای است، یونهای کوچک تمایل به انحراف سطح دارند و بمباران یونی باعث افزایش بیشتر انحراف سطح و افزایش نفوذ متقابل اتمهای رسوبشده و زیرلایه میشود.
(3) حالت هستهزایی بهبود یافته. خواص اتم متراکم شده روی سطح زیرلایه توسط برهمکنش سطحی و خواص مهاجرت آن روی سطح تعیین میشود. اگر هیچ برهمکنش قوی بین اتم متراکم شده و سطح زیرلایه وجود نداشته باشد، اتم روی سطح پخش میشود تا زمانی که در موقعیتی با انرژی بالا هستهزایی کند یا با سایر اتمهای پخش شونده برخورد کند. این حالت هستهزایی، هستهزایی غیر واکنشی نامیده میشود. حتی اگر حالت اصلی به حالت هستهزایی غیر واکنشی تعلق داشته باشد، بمباران یونی سطح زیرلایه میتواند نقصهای بیشتری ایجاد کند و چگالی هستهزایی را افزایش دهد که برای تشکیل حالت انتشار - هستهزایی واکنشی - مساعدتر است.
(4) حذف ترجیحی اتمهای با پیوند سست. کندوپاش اتمهای سطح توسط حالت پیوند موضعی تعیین میشود و بمباران یونی سطح بیشتر احتمال دارد که اتمهای با پیوند سست را کندوپاش کند. این اثر در تشکیل فصل مشترکهای واکنشپذیر با نفوذ، بارزتر است.
(5) بهبود پوشش سطح و افزایش بایپس آبکاری. به دلیل فشار بالای گاز کاری در آبکاری یونی، اتمهای تبخیر شده یا کندوپاش شده در معرض برخورد با اتمهای گاز قرار میگیرند تا پراکندگی افزایش یابد و در نتیجه خواص پوششدهی خوبی ایجاد شود.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: 9 دسامبر 2023