Lurruntze-estalduraren zehar, film-geruzaren nukleazioa eta hazkundea dira hainbat ioi-estaldura-teknologiaren oinarria.
1. Nukleazioa
Inhutsean lurruntze estaldura teknologiaFilm geruzaren partikulak lurruntze-iturritik atomo moduan lurrundu ondoren, zuzenean piezara hegan egiten dute hutsean eta film geruza osatzen dute piezaren gainazalean nukleazio eta hazkuntza bidez. Hutsean lurruntzean, lurruntze-iturritik ihes egiten duten film geruzaren atomoen energia 0,2 eV ingurukoa da. Film geruzaren partikulen arteko kohesioa film geruzaren atomoen eta piezaren arteko lotura-indarra baino handiagoa denean, nukleo uharte bat sortzen da. Film geruzaren atomo bakarra piezaren gainazalean geratzen da denbora batez, mugimendu irregularra, difusioa, migrazioa edo beste atomoekin talka eginez, multzo atomikoak sortzeko. Multzo atomikoko atomo kopuruak balio kritiko jakin batera iristen denean, nukleo egonkor bat sortzen da, nukleo homogeneoa deritzona.
leuna da, eta akats eta maila asko ditu, eta horrek piezaren zati desberdinen adsorzio-indarraren aldea eragiten du atomo erradioaktiboekiko. Akatsaren gainazalaren adsorzio-energia gainazal normalarena baino handiagoa da, beraz, zentro aktibo bihurtzen da, eta horrek lehentasunezko nukleazioa eragiten du, nukleazio heterogeneoa deritzona. Kohesio-indarra lotura-indarraren berdina denean, edo mintz-atomoen eta piezaren arteko lotura-indarra mintz-atomoen arteko kohesio-indarra baino handiagoa denean, egitura lamelarra sortzen da. Ioi-plakatze teknologian, uharte-nukleoa sortzen da kasu gehienetan.
2. Hazkundea
Behin filmaren nukleoa eratu ondoren, hazten jarraitzen du erasoko atomoak harrapatuz. Uharteak hazten eta elkarren artean konbinatzen dira hemisferio handiagoak osatzeko, pixkanaka piezaren gainazalean zehar zabaltzen den uharte-geruza hemisferiko bat osatuz.
Film geruzaren energia atomikoa altua denean, gainazalean nahikoa hedatu daiteke eta film jarraitu leun bat sor daiteke ondorengo atomo-klusterrak txikiak direnean. Gainazaleko atomoen difusioa ahula bada eta metatutako klusterren tamaina handia bada, penintsulako nukleo handi gisa existitzen dira. Uharte-nukleoaren goialdeak itzal-efektu handia du zati ahurrean, hau da, "itzal-efektua". Gainazalaren proiekzioa egokiagoa da ondorengo metatutako atomoak harrapatzeko eta lehentasunezko hazkundea lortzeko, eta horren ondorioz, gainazalean ahurtasun-maila handitzen da, tamaina nahikoa duten kristal konikoak edo zutabedunak eratzeko. Hutsune sarkorrak sortzen dira kristal konikoen artean eta gainazalaren zimurtasunaren balioa handitzen da. Ehun fina hutsune altuan lor daiteke, eta hutsune-maila gutxitu ahala, mintzaren mikroegitura gero eta lodiagoa bihurtzen da.
Argitaratze data: 2023ko maiatzaren 24a