Kui membraani aatomite sadestumine algab, on ioonpommitamisel membraani/substraadi liidesele järgmine mõju.
(1) Füüsiline segamine. Suure energiaga ioonide süstimise, sadestunud aatomite pihustamise, pinnaaatomite tagasilöögi ja kaskaadkokkupõrke fenomeni tõttu toimub membraani/aluse liidese pinnalähedasel alal substraadielementide ja membraanielementide mittediffusioonne segunemine. See segamisefekt soodustab membraani/aluse liidese "pseudo-diffusioonkihi" moodustumist, st kuni mõne mikroni paksust üleminekukihti membraani/aluse liidese vahel. Mõne mikromeetri paksuses kihis võivad tekkida isegi uued faasid. See on väga soodne membraani/aluse liidese adhesioonitugevuse parandamiseks.
(2) Suurem difusioon. Pinnalähedase piirkonna kõrge defektide kontsentratsioon ja kõrge temperatuur suurendavad difusioonikiirust. Kuna pind on punktdefekt, kipuvad väikesed ioonid pinda kõrvale kalduma ning ioonide pommitamine suurendab veelgi pinna kõrvalekallet ja soodustab sadestunud ja substraadi aatomite vastastikust difusiooni.
(3) Täiustatud tuumastumisrežiim. Substraadi pinnale kondenseerunud aatomi omadused määratakse selle pinnainteraktsiooni ja migratsiooniomaduste abil pinnal. Kui kondenseerunud aatomi ja substraadi pinna vahel puudub tugev interaktsioon, difundeerub aatom pinnal, kuni see tuumastub kõrge energiaga positsioonis või põrkab kokku teiste difundeeruvate aatomitega. Seda tuumastumisrežiimi nimetatakse mittereaktiivseks tuumastumisrežiimiks. Isegi kui algne variant kuulub mittereaktiivse tuumastumisrežiimi hulka, võib substraadi pinna ioonpommitamine tekitada rohkem defekte, suurendades tuumastumistihedust, mis soodustab difusiooni-reaktiivse tuumastumisrežiimi teket.
(4) Eelistatakse lõdvalt seotud aatomite eemaldamist. Pinna aatomite pritsimist määrab lokaalne sideme olek ja pinna ioonpommitamine pritsib tõenäolisemalt lahtiselt seotud aatomeid. See efekt on difusioonreaktiivsete piirpindade moodustumisel ilmekam.
(5) Pinna katvuse parandamine ja galvaniseerimise möödaviigu tõhustamine. Ioonkatmise kõrge töögaasi rõhu tõttu põrkavad aurustunud või pritsitud aatomid gaasi aatomitega kokku, et suurendada hajumist, mille tulemuseks on head katte ümbritsevad omadused.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 09. dets. 2023