Kiam la deponado de membranatomoj komenciĝas, jona bombado havas la jenajn efikojn sur la membrano/substrata interfaco.
(1) Fizika miksado. Pro alt-energia jona injekto, ŝprucado de la deponitaj atomoj kaj la kontraŭfrapa injekto de surfacaj atomoj kaj la kaskada kolizia fenomeno, kaŭzos la ne-difuzan miksadon ĉe la proksima surfaco de la membrano/baza interfaco de la substrataj elementoj kaj la membranaj elementoj. Ĉi tiu miksa efiko kondukos al la formado de la membrano/baza interfaco "pseŭdo-difuza tavolo", tio estas, la transira tavolo inter la membrano/baza interfaco, ĝis kelkaj mikrometroj dika. Kelkaj mikrometroj dika, en kiu eĉ novaj fazoj povas aperi. Ĉi tio estas tre favora por plibonigi la adhero-forton de la membrano/baza interfaco.
(2) Plibonigita difuzo. La alta difektokoncentriĝo en la proksima surfaca regiono kaj la alta temperaturo pliigas la difuzrapidecon. Ĉar la surfaco estas punkta difekto, malgrandaj jonoj emas deviigi la surfacon, kaj jona bombado havas la efikon plue plifortigi la surfacan dekliniĝon kaj plifortigi la reciprokan difuzon de deponitaj kaj substrataj atomoj.
(3) Plibonigita nukleacia reĝimo. La ecoj de la atomo kondensita sur la substrata surfaco estas determinitaj de ĝia surfaca interagado kaj ĝiaj migraciaj ecoj sur la surfaco. Se ne ekzistas forta interagado inter la kondensita atomo kaj la surfaco de la substrato, la atomo difuzos sur la surfaco ĝis ĝi nukleas ĉe alt-energia pozicio aŭ kolizias kun aliaj difuzantaj atomoj. Ĉi tiu reĝimo de nukleado nomiĝas nereaktiva nukleado. Eĉ se la originala apartenas al la kazo de nereaktiva nukleacia reĝimo, per jona bombado de la substrata surfaco povas produkti pli da difektoj, pliigante la nukleacian densecon, kio pli favoras la formadon de difuzo - reaktiva nukleacia reĝimo.
(4) Preferata forigo de loze ligitaj atomoj. La ŝprucado de surfacaj atomoj estas determinita de la loka ligstato, kaj jona bombado de la surfaco pli verŝajne ŝprucas loze ligitajn atomojn. Ĉi tiu efiko estas pli okulfrapa en la formado de difuz-reaktivaj interfacoj.
(5) Plibonigo de surfaca kovro kaj plibonigo de tegaĵa pretervojo. Pro la alta laborgaspremo de jona tegaĵo, vaporigitaj aŭ ŝprucitaj atomoj estas submetitaj al kolizio kun gasatomoj por plibonigi disĵeton, rezultante bonajn tegaĵajn ĉirkaŭvolvajn ecojn.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: Dec-09-2023