- Termika CVD-teknologio
Malmolaj tegaĵoj estas plejparte metal-ceramikaj tegaĵoj (TiN, ktp.), kiuj formiĝas per la reakcio de metalo en la tegaĵo kaj reaktiva gasigado. Komence, la termika CVD-teknologio estis uzata por provizi la aktivigan energion de kombina reakcio per termika energio je alta temperaturo de 1000 ℃. Ĉi tiu temperaturo taŭgas nur por deponi TiN kaj aliajn malmolajn tegaĵojn sur cementitaj karbidaj iloj. Ĝis nun, ĝi estas ankoraŭ grava teknologio por deponi TiN-Al2O3-kompozitajn tegaĵojn sur cementitaj karbidaj ilkapoj.
- Kava katoda jona tegaĵo kaj varmega drata arka jona tegaĵo
En la 1980-aj jaroj, kava katoda jona tegaĵo kaj varmdrata arka jona tegaĵo estis uzataj por deponi tegitajn tranĉilojn. Ambaŭ ĉi tiuj jonaj tegaĵteknologioj estas arkaj malŝarĝaj jonaj tegaĵteknologioj, kun metala joniga indico de ĝis 20%~40%.
- Katoda arka jona tegaĵo
La apero de katoda arkjona tegaĵo kondukis al la disvolviĝo de la teknologio de deponado de malmolaj tegaĵoj sur muldiloj. La joniga rapideco de katoda arkjona tegaĵo estas 60%~90%, permesante al granda nombro da metaljonoj kaj reakciaj gasjonoj atingi la surfacon de la laborpeco kaj tamen konservi altan aktivecon, rezultante en reakcia deponado kaj formado de malmolaj tegaĵoj kiel ekzemple TiN. Nuntempe, katoda arkjona tegaĵteknologio estas ĉefe uzata por deponi malmolajn tegaĵojn sur muldilojn.
La katoda arkfonto estas solidstata vaporiĝfonto sen fiksa fandita naĝejo, kaj la pozicio de la arkfonto povas esti arbitre lokita, plibonigante la spacuzoftecon de la tegaĵĉambro kaj pliigante la ŝarĝkapaciton de la forno. La formoj de la katodaj arkfontoj inkluzivas malgrandajn cirklajn katodajn arkfontojn, kolonecajn arkfontojn kaj rektangulajn platajn grandajn arkfontojn. Malsamaj komponantoj de malgrandaj arkfontoj, kolonecaj arkfontoj kaj grandaj arkfontoj povas esti aranĝitaj aparte por deponi plurtavolajn filmojn kaj nanoplurtavolajn filmojn. Dume, pro la alta metaljoniga rapideco de katoda arkjona tegaĵo, metaljonoj povas absorbi pli da reakciaj gasoj, rezultante en larĝa proceza gamo kaj simpla operacio por akiri bonegajn malmolajn tegaĵojn. Tamen, ekzistas krudaj gutetoj en la mikrostrukturo de la tegaĵtavolo akirita per katoda arkjona tegaĵo. En la lastaj jaroj, multaj novaj teknologioj aperis por rafini la strukturon de la filmtavolo, kio plibonigis la kvaliton de la arkjona tegaĵfilmo.
Afiŝtempo: 20-a de Julio, 2023