Ο εξοπλισμός καθαρισμού με πλάσμα κενού υιοθετεί ενσωματωμένη δομή, εξοπλισμένη με σύστημα καθαρισμού ιόντων RF, πλήρως αυτόματο έλεγχο, εύκολη λειτουργία και συντήρηση.
Η γεννήτρια υψηλής συχνότητας RF μπορεί να παράγει πλάσμα υψηλής πυκνότητας, να ενεργοποιήσει, να χαράξει και να αποτεφρώσει την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας, να αφαιρέσει αποτελεσματικά τη σκόνη και το λίπος από την επιφάνεια του προϊόντος, να απελευθερώσει την επιφανειακή τάση και να επιτύχει διάφορες τροποποιήσεις στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
Εφαρμόζεται σε καουτσούκ, γυαλί, κεραμικά, μέταλλο και άλλα προϊόντα, και εφαρμόζεται σε μικροηλεκτρονική, LCD, LED, LCM, πλακέτα κυκλώματος PCB, συσκευασίες ημιαγωγών, ιατρικές συσκευές, πειράματα βιοεπιστημών και άλλους τομείς.