1. Ο ρυθμός εξάτμισης θα επηρεάσει τις ιδιότητες της εξατμισμένης επικάλυψης
Ο ρυθμός εξάτμισης έχει μεγάλη επίδραση στην εναποτιθέμενη μεμβράνη. Επειδή η δομή επικάλυψης που σχηματίζεται από χαμηλό ρυθμό εναπόθεσης είναι χαλαρή και εύκολα παράγει εναπόθεση μεγάλων σωματιδίων, είναι πολύ ασφαλές να επιλέξετε υψηλότερο ρυθμό εξάτμισης για να διασφαλίσετε τη συμπαγή δομή επικάλυψης. Όταν η πίεση του υπολειμματικού αερίου στον θάλαμο κενού είναι σταθερή, ο ρυθμός βομβαρδισμού του υποστρώματος είναι σταθερή. Επομένως, το υπολειμματικό αέριο που περιέχεται στην εναποτιθέμενη μεμβράνη μετά την επιλογή υψηλότερου ρυθμού εναπόθεσης θα μειωθεί, μειώνοντας έτσι τη χημική αντίδραση μεταξύ των μορίων του υπολειμματικού αερίου και των σωματιδίων της εξατμισμένης μεμβράνης. Επομένως, η καθαρότητα της εναποτιθέμενης μεμβράνης μπορεί να βελτιωθεί. Πρέπει να σημειωθεί ότι εάν ο ρυθμός εναπόθεσης είναι πολύ γρήγορος, μπορεί να αυξηθεί η εσωτερική τάση της μεμβράνης, να αυξηθούν τα ελαττώματα στην μεμβράνη και ακόμη και να οδηγήσει σε ρήξη της μεμβράνης. Συγκεκριμένα, κατά τη διαδικασία της αντιδραστικής εξάτμισης, προκειμένου το αέριο αντίδρασης να αντιδράσει πλήρως με τα σωματίδια του υλικού της μεμβράνης εξάτμισης, μπορείτε να επιλέξετε χαμηλότερο ρυθμό εναπόθεσης. Φυσικά, διαφορετικά υλικά επιλέγουν διαφορετικούς ρυθμούς εξάτμισης. Ως πρακτικό παράδειγμα, η εναπόθεση της ανακλαστικής μεμβράνης. Εάν το πάχος της μεμβράνης είναι 600×10-8cm και ο χρόνος εξάτμισης είναι 3s, η ανακλαστικότητα είναι 93%. Ωστόσο, εάν ο ρυθμός εξάτμισης επιβραδυνθεί υπό τις ίδιες συνθήκες πάχους, χρειάζονται 10 λεπτά για να ολοκληρωθεί η εναπόθεση της μεμβράνης. Σε αυτό το σημείο, το πάχος της μεμβράνης είναι το ίδιο. Ωστόσο, η ανακλαστικότητα έχει μειωθεί στο 68%.
2. Η θερμοκρασία του υποστρώματος θα επηρεάσει την επίστρωση εξάτμισης
Η θερμοκρασία του υποστρώματος έχει μεγάλη επίδραση στην επικάλυψη εξάτμισης. Τα υπολειμματικά μόρια αερίου που προσροφώνται στην επιφάνεια του υποστρώματος σε υψηλή θερμοκρασία υποστρώματος απομακρύνονται εύκολα. Ιδιαίτερα η απομάκρυνση των μορίων υδρατμών είναι πιο σημαντική. Επιπλέον, σε υψηλότερες θερμοκρασίες, δεν είναι μόνο εύκολο να προωθηθεί η μετατροπή από φυσική προσρόφηση σε χημική προσρόφηση, αυξάνοντας έτσι τη δύναμη σύνδεσης μεταξύ των σωματιδίων. Επιπλέον, μπορεί επίσης να μειώσει τη διαφορά μεταξύ της θερμοκρασίας ανακρυστάλλωσης των μορίων ατμού και της θερμοκρασίας του υποστρώματος, μειώνοντας ή εξαλείφοντας έτσι την εσωτερική τάση στη διεπαφή που βασίζεται στη μεμβράνη. Επιπλέον, επειδή η θερμοκρασία του υποστρώματος σχετίζεται με την κρυσταλλική κατάσταση της μεμβράνης, είναι συχνά εύκολο να σχηματιστούν άμορφες ή μικροκρυσταλλικές επικαλύψεις υπό συνθήκες χαμηλής θερμοκρασίας υποστρώματος ή χωρίς θέρμανση. Αντίθετα, όταν η θερμοκρασία είναι υψηλή, είναι εύκολο να σχηματιστεί κρυσταλλική επικάλυψη. Η αύξηση της θερμοκρασίας του υποστρώματος συμβάλλει επίσης στη βελτίωση των μηχανικών ιδιοτήτων της επικάλυψης. Φυσικά, η θερμοκρασία του υποστρώματος δεν πρέπει να είναι πολύ υψηλή για να αποφευχθεί η εξάτμιση της επικάλυψης.
3. Η υπολειμματική πίεση αερίου στον θάλαμο κενού θα επηρεάσει τις ιδιότητες της μεμβράνης
Η πίεση του υπολειμματικού αερίου στον θάλαμο κενού έχει μεγάλη επίδραση στην απόδοση της μεμβράνης. Τα υπολειμματικά μόρια αερίου με πολύ υψηλή πίεση δεν είναι μόνο εύκολο να συγκρουστούν με τα εξατμιζόμενα σωματίδια, γεγονός που θα μειώσει την κινητική ενέργεια των ατόμων στο υπόστρωμα και θα επηρεάσει την πρόσφυση της μεμβράνης. Επιπλέον, η πολύ υψηλή πίεση του υπολειμματικού αερίου θα επηρεάσει σοβαρά την καθαρότητα της μεμβράνης και θα μειώσει την απόδοση της επικάλυψης.
4. Επίδραση της θερμοκρασίας εξάτμισης στην επικάλυψη εξάτμισης
Η επίδραση της θερμοκρασίας εξάτμισης στην απόδοση της μεμβράνης φαίνεται από την αλλαγή του ρυθμού εξάτμισης με τη θερμοκρασία. Όταν η θερμοκρασία εξάτμισης είναι υψηλή, η θερμότητα εξάτμισης θα μειωθεί. Εάν το υλικό της μεμβράνης εξατμιστεί πάνω από τη θερμοκρασία εξάτμισης, ακόμη και μια μικρή αλλαγή στη θερμοκρασία μπορεί να προκαλέσει μια απότομη αλλαγή στον ρυθμό εξάτμισης του υλικού της μεμβράνης. Επομένως, είναι πολύ σημαντικό να ελέγχεται με ακρίβεια η θερμοκρασία εξάτμισης κατά την εναπόθεση της μεμβράνης, ώστε να αποφεύγεται η μεγάλη θερμοκρασιακή κλίση όταν θερμαίνεται η πηγή εξάτμισης. Για υλικό μεμβράνης που είναι εύκολο να εξαχνωθεί, είναι επίσης πολύ σημαντικό να επιλέγεται το ίδιο το υλικό ως θερμαντήρας για εξάτμιση και άλλα μέτρα.
5. Η κατάσταση καθαρισμού του υποστρώματος και του θαλάμου επίστρωσης θα επηρεάσει την απόδοση της επίστρωσης
Η επίδραση της καθαριότητας του υποστρώματος και του θαλάμου επίστρωσης στην απόδοση της επίστρωσης δεν μπορεί να αγνοηθεί. Δεν θα επηρεάσει μόνο σοβαρά την καθαρότητα της εναποτιθέμενης μεμβράνης, αλλά θα μειώσει και την πρόσφυση της μεμβράνης. Επομένως, ο καθαρισμός του υποστρώματος, η επεξεργασία καθαρισμού του θαλάμου επίστρωσης κενού και των σχετικών εξαρτημάτων του (όπως το πλαίσιο του υποστρώματος) και η απαέρωση της επιφάνειας είναι όλες απαραίτητες διαδικασίες στη διαδικασία επίστρωσης κενού.
Ώρα δημοσίευσης: 28 Φεβρουαρίου 2023