Όταν ξεκινά η εναπόθεση ατόμων μεμβράνης, ο βομβαρδισμός με ιόντα έχει τις ακόλουθες επιδράσεις στη διεπιφάνεια μεμβράνης/υποστρώματος.
(1) Φυσική ανάμειξη. Λόγω της έγχυσης ιόντων υψηλής ενέργειας, του ψεκασμού των εναποτιθέμενων ατόμων και της έγχυσης ανάκρουσης των επιφανειακών ατόμων και του φαινομένου της καταρρακτώδους σύγκρουσης, θα προκληθεί η περιοχή κοντά στην επιφάνεια της διεπαφής μεμβράνης/βάσης των στοιχείων υποστρώματος και των στοιχείων μεμβράνης της μη διάχυτης ανάμειξης, αυτό το φαινόμενο ανάμειξης θα ευνοήσει τον σχηματισμό της «ψευδο-στρώσης διάχυσης» της διεπαφής μεμβράνης/βάσης, δηλαδή του μεταβατικού στρώματος μεταξύ της διεπαφής μεμβράνης/βάσης, πάχους έως και μερικών μικρών. Πάχους μερικών μικρομέτρων, στο οποίο μπορεί ακόμη και να εμφανιστούν νέες φάσεις. Αυτό είναι πολύ ευνοϊκό για τη βελτίωση της αντοχής πρόσφυσης της διεπαφής μεμβράνης/βάσης.
(2) Ενισχυμένη διάχυση. Η υψηλή συγκέντρωση ελαττωμάτων στην περιοχή κοντά στην επιφάνεια και η υψηλή θερμοκρασία αυξάνουν τον ρυθμό διάχυσης. Δεδομένου ότι η επιφάνεια είναι σημειακό ελάττωμα, τα μικρά ιόντα έχουν την τάση να εκτρέπουν την επιφάνεια και ο βομβαρδισμός με ιόντα έχει ως αποτέλεσμα την περαιτέρω ενίσχυση της εκτροπής της επιφάνειας και την ενίσχυση της αμοιβαίας διάχυσης των ατόμων που εναποτίθενται και των ατόμων του υποστρώματος.
(3) Βελτιωμένος τρόπος πυρήνωσης. Οι ιδιότητες του ατόμου που συμπυκνώνεται στην επιφάνεια του υποστρώματος καθορίζονται από την επιφανειακή του αλληλεπίδραση και τις ιδιότητες μετακίνησής του στην επιφάνεια. Εάν δεν υπάρχει ισχυρή αλληλεπίδραση μεταξύ του συμπυκνωμένου ατόμου και της επιφάνειας του υποστρώματος, το άτομο θα διαχέεται στην επιφάνεια μέχρι να πυρηνοθετηθεί σε θέση υψηλής ενέργειας ή να συγκρουστεί με άλλα άτομα διάχυσης. Αυτός ο τρόπος πυρήνωσης ονομάζεται μη αντιδραστική πυρήνωση. Ακόμα κι αν ο αρχικός τρόπος πυρήνωσης ανήκει στην περίπτωση του μη αντιδραστικού τρόπου πυρήνωσης, ο βομβαρδισμός της επιφάνειας του υποστρώματος με ιόντα μπορεί να προκαλέσει περισσότερα ελαττώματα, αυξάνοντας την πυκνότητα πυρήνωσης, η οποία ευνοεί περισσότερο τον σχηματισμό της διάχυσης - αντιδραστικής λειτουργίας πυρήνωσης.
(4) Προτιμησιακή απομάκρυνση χαλαρά συνδεδεμένων ατόμων. Ο ψεκασμός των επιφανειακών ατόμων καθορίζεται από την τοπική κατάσταση σύνδεσης και ο βομβαρδισμός με ιόντα της επιφάνειας είναι πιο πιθανό να εκτοξεύσει χαλαρά συνδεδεμένα άτομα. Αυτό το φαινόμενο είναι πιο έντονο στον σχηματισμό διεπιφανειών που αντιδρούν με τη διάχυση.
(5) Βελτίωση της επιφανειακής κάλυψης και ενίσχυση της παράκαμψης της επιμετάλλωσης. Λόγω της υψηλής πίεσης αερίου λειτουργίας της ιοντικής επιμετάλλωσης, τα εξατμισμένα ή τα ψεκαζόμενα άτομα υποβάλλονται σε σύγκρουση με άτομα αερίου για την ενίσχυση της σκέδασης, με αποτέλεσμα καλές ιδιότητες περιτύλιξης της επικάλυψης.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 09-Δεκ-2023