Bei der Ionenbeschichtung werden die Reaktanten oder verdampften Materialien durch Ionenbeschuss mit Gasionen oder verdampften Materialien auf dem Substrat abgeschieden, während die verdampften Materialien in einer Vakuumkammer dissoziiert oder entgast werden. Das technische Prinzip der Hohlkathoden-Hartbeschichtungsanlage ist die Hohlkathoden-Ionenbeschichtung, eine Hohlkathoden-Entladungsabscheidungstechnologie.
Über das Prinzip der Hohlkathodenentladungsabscheidung: Die Hohlkathodenentladungsabscheidungstechnik verwendet eine heiße Kathodenentladung zur Erzeugung eines Plasmastrahls, und die Kathode ist eine hohle Tantalröhre. Die Kathode und die Hilfsanode liegen nahe beieinander. Dies sind die beiden Pole, die die Lichtbogenentladung zünden.
Die Hohlkathodenentladungs-Abscheidungskanone zündet auf zwei Arten.
1. Durch Anlegen eines hochfrequenten elektrischen Feldes an die Kathode der Tantalröhre wird das Argongas in der Kathode der Tantalröhre zu Argonionen ionisiert. Anschließend wird die Kathode der Tantalröhre kontinuierlich mit Argonionen bombardiert, bis die Wärme die Mindesttemperatur für die Elektronenemission erreicht und ein Plasmaelektronenstrahl erzeugt wird.
2. Zwischen der Hilfsanode und der Kathode der Tantalröhre wird eine Gleichspannung von etwa 300 V angelegt. Die Kathode der Tantalröhre gelangt weiterhin in das Argongas. Bei einem Argongasdruck von 1–10 Pa tritt zwischen der Hilfsanode und der Kathode der Tantalröhre eine Glimmentladung auf. Die Kathode der Tantalröhre wird ständig von Argonionen bombardiert. Bis zu einer Temperatur von 2300–2400 K emittiert die Kathode der Tantalröhre eine große Anzahl von Elektronen und wechselt von „Glimmentladung“ zu „Bogenentladung“. Zu diesem Zeitpunkt beträgt die Spannung nur noch 30–60 V. Solange die Kathode und die Anode zwischen den beiden mit Strom versorgt werden, kann ein Plasmaelektronenstrahl erzeugt werden.
Kathodische Beschichtungsanlagen
1. Verbessern Sie die ursprüngliche Waffenstruktur, vom ursprünglichen Maximalstrom von 230 A auf 280 A.
2. Verbessern Sie die ursprüngliche Struktur des Kühlsystems, von der ursprünglichen 4℃-Eiswassermaschinenkühlung zur Kühlwasserkühlung bei Raumtemperatur, wodurch die Stromkosten für die Benutzer gespart werden.
3. Verbessern Sie die ursprüngliche mechanische Übertragungsstruktur und wechseln Sie zu einer magnetischen Flüssigkeitsübertragungsstruktur. Hohe Temperaturen blockieren den rotierenden Rahmen nicht.
4. Die effektive Beschichtungsfläche beträgt 650 x 1100 und bietet Platz für übergroße Matrizen und Zahnräder von 750 x 1250 x 600, die Hersteller von extralangen Räumnadeln mit sehr großem Volumen benötigen.
Die Hohlkathoden-Ionenbeschichtungsanlage wird hauptsächlich zum Beschichten von Werkzeugen, Formen, großen Spiegelformen, Kunststoffformen, Wälzfräsmessern und anderen Produkten verwendet.
Beitragszeit: 07.11.2022