Das Filmwachstum hat einen sehr wichtigen Einfluss. Eine große Oberflächenrauheit des Substrats und zunehmende Oberflächendefekte beeinträchtigen die Haftung und das Wachstum des Films. Daher wird das Substrat vor Beginn der Vakuumbeschichtung vorbehandelt, um die Oberflächenrauheit zu verbessern. Nach dem Ultraschalleingriff bildet sich auf der Substratoberfläche ein kleiner Kratzer, der die Kontaktfläche zwischen den Dünnschichtpartikeln und der Substratoberfläche vergrößert und so die Stabilität des Rotors und der Membranbasis deutlich verbessert.
Bei den meisten Substratmaterialien nimmt die Filmhaftung mit abnehmender Rauheit des Substrats zu, d. h. die Bindungskraft der Membranbasis wird stärker. Es gibt auch einige Substratmaterialien, die Sonderfälle darstellen, wie z. B. die Filmhaftung der Keramikbasis. Bei abnehmendem Grad wird die Bindungskraft der Membranbasis geschwächt.
Der Wärmeausdehnungskoeffizient spielt bei den Einflussfaktoren auf Film und Folie eine entscheidende Rolle. Ist der Wärmeausdehnungskoeffizient des Films größer als der Wärmeausdehnungskoeffizient der Matrix, ist das Drehmoment negativ und die maximale Spannung tritt an der freien Grenze auf. Nahe dem Zentrum wird es komprimiert, und der Film kann geschichtet erscheinen. Ein Beispiel hierfür ist der sedimentäre Skinus-Dünnfilm. Da Diamant einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat, sinkt nach Abschluss der Gasphasenabscheidung die Substrattemperatur von einer höheren Sedimentationstemperatur auf Raumtemperatur, wodurch die Kontraktion des Diamanten im Vergleich zum Substrat geringer wird. Im Inneren entsteht eine große thermische Spannung. Ist der Wärmeausdehnungskoeffizient des Films kleiner als der Wärmeausdehnungskoeffizient des Substrats, ist das Drehmoment positiv und der Film lässt sich nicht so leicht schichten.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 29. Februar 2024