1. Thermische CVD-Technologie
Hartstoffbeschichtungen sind meist Metall-Keramik-Beschichtungen (TiN usw.), die durch die Reaktion des Metalls in der Beschichtung und reaktiver Vergasung entstehen. Zunächst wurde die thermische CVD-Technologie eingesetzt, um die Aktivierungsenergie der Kombinationsreaktion durch thermische Energie bei einer hohen Temperatur von 1000 °C bereitzustellen. Diese Temperatur eignet sich nur für die Abscheidung von TiN und anderen Hartstoffbeschichtungen auf Hartmetallwerkzeugen. Bis heute ist die Abscheidung von TiN-Al20-Verbundbeschichtungen auf Hartmetallwerkzeugköpfen eine wichtige Technologie.
2. Hohlkathoden-Ionenbeschichtung und Heißdraht-Lichtbogen-Ionenbeschichtung
In den 1980er Jahren wurden Hohlkathoden-Ionenbeschichtung und Heißdraht-Lichtbogen-Ionenbeschichtung zur Beschichtung von Schneidwerkzeugen eingesetzt. Beide Ionenbeschichtungstechnologien sind Lichtbogenentladungs-Ionenbeschichtungstechnologien mit einer Metallionisationsrate von bis zu 20–40 %.
3. Kathodenbogen-Ionenbeschichtung
Das Aufkommen der Kathodenbogen-Ionenbeschichtung führte zur Entwicklung der Technologie zur Abscheidung von Hartstoffschichten auf Formen. Die Ionisationsrate der Kathodenbogen-Ionenbeschichtung beträgt 60–90 %, wodurch eine große Anzahl von Metallionen und Reaktionsgasionen die Oberfläche des Werkstücks erreichen und gleichzeitig eine hohe Aktivität aufrechterhalten kann. Dies führt zur Reaktionsabscheidung und Bildung von Hartstoffschichten wie TiN. Derzeit wird die Kathodenbogen-Ionenbeschichtung hauptsächlich zur Abscheidung von Hartstoffschichten auf Formen eingesetzt.
Die Kathodenbogenquelle ist eine Festkörperverdampfungsquelle ohne festes Schmelzbad. Sie kann beliebig positioniert werden, wodurch die Raumausnutzung des Beschichtungsraums verbessert und die Ofenkapazität erhöht wird. Kathodenbogenquellen können kleine runde Kathodenbogenquellen, säulenförmige und große rechteckige, flache Lichtbogenquellen sein. Die verschiedenen Komponenten kleiner, säulenförmiger und großer Lichtbogenquellen können separat angeordnet werden, um Mehrschichtfilme und Nano-Mehrschichtfilme abzuscheiden. Aufgrund der hohen Metallionisationsrate der kathodischen Lichtbogenionenbeschichtung können Metallionen mehr Reaktionsgase absorbieren, wodurch ein breiter Prozessbereich und eine einfache Handhabung zur Herstellung hervorragender Hartbeschichtungen ermöglicht werden. Die Mikrostruktur der durch kathodische Lichtbogenionenbeschichtung erhaltenen Beschichtung weist jedoch grobe Tröpfchen auf. In den letzten Jahren sind viele neue Technologien zur Verfeinerung der Filmstruktur entstanden, wodurch die Qualität der Lichtbogenionenbeschichtung verbessert wurde.
——Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua Technology veröffentlicht, einemHersteller optischer Beschichtungsanlagen.
Veröffentlichungszeit: 28. April 2023