- Termisk CVD-teknologi
Hårde belægninger er for det meste metalkeramiske belægninger (TiN osv.), som dannes ved reaktion af metal i belægningen og reaktiv forgasning. I starten blev termisk CVD-teknologi brugt til at tilvejebringe aktiveringsenergien fra en kombinationsreaktion ved hjælp af termisk energi ved en høj temperatur på 1000 ℃. Denne temperatur er kun egnet til aflejring af TiN og andre hårde belægninger på hårdmetalværktøjer. Indtil videre er det stadig en vigtig teknologi til aflejring af TiN-Al2O3-kompositbelægninger på hårdmetalværktøjshoveder.
- Hulkatode-ionbelægning og varmtrådsbue-ionbelægning
I 1980'erne blev hulkatode-ionbelægning og varmtrådsbue-ionbelægning anvendt til at aflejre belagte skæreværktøjer. Begge disse ionbelægningsteknologier er bueudladningsionbelægningsteknologier med en metalioniseringsrate på op til 20%~40%.
- Katodebue-ionbelægning
Fremkomsten af katodisk bueionbelægning har ført til udviklingen af teknologien til aflejring af hårde belægninger på forme. Ioniseringshastigheden for katodisk bueionbelægning er 60%~90%, hvilket tillader et stort antal metalioner og reaktionsgasioner at nå emnets overflade og stadig opretholde høj aktivitet, hvilket resulterer i reaktionsaflejring og dannelse af hårde belægninger såsom TiN. I øjeblikket anvendes katodisk bueionbelægningsteknologi hovedsageligt til at aflejre hårde belægninger på forme.
Katodebuekilden er en faststoffordampningskilde uden en fast smeltebassin, og buekildens position kan placeres vilkårligt, hvilket forbedrer pladsudnyttelsesgraden i belægningsrummet og øger ovnens belastningskapacitet. Formerne på katodebuekilder omfatter små cirkulære katodebuekilder, søjleformede buekilder og rektangulære flade store buekilder. Forskellige komponenter i små buekilder, søjleformede buekilder og store buekilder kan arrangeres separat for at aflejre flerlagsfilm og nano-flerlagsfilm. På grund af den høje metalioniseringshastighed ved katodisk bueionbelægning kan metalioner absorbere flere reaktionsgasser, hvilket resulterer i et bredt procesområde og enkel betjening for at opnå fremragende hårde belægninger. Der er dog grove dråber i mikrostrukturen af belægningslaget opnået ved katodisk bueionbelægning. I de senere år er der dukket mange nye teknologier op for at forfine filmlagets struktur, hvilket har forbedret kvaliteten af bueionbelægningsfilmen.
Opslagstidspunkt: 20. juli 2023