1, Ffurfio cyfansoddion metel ar wyneb y targed
Ble mae'r cyfansoddyn sy'n cael ei ffurfio yn y broses o ffurfio cyfansoddyn o arwyneb targed metel trwy broses chwistrellu adweithiol? Gan fod yr adwaith cemegol rhwng y gronynnau nwy adweithiol ac atomau arwyneb y targed yn cynhyrchu atomau cyfansawdd, sydd fel arfer yn ecsothermig, rhaid i wres yr adwaith gael ffordd i ddargludo allan, fel arall ni all yr adwaith cemegol barhau. O dan amodau gwactod, nid yw trosglwyddo gwres rhwng nwyon yn bosibl, felly rhaid i'r adwaith cemegol ddigwydd ar arwyneb solet. Mae chwistrellu adwaith yn cynhyrchu cyfansoddion ar arwynebau targed, arwynebau swbstrad, ac arwynebau strwythurol eraill. Y nod yw cynhyrchu cyfansoddion ar wyneb y swbstrad, mae cynhyrchu cyfansoddion ar arwynebau strwythurol eraill yn wastraff adnoddau, ac mae cynhyrchu cyfansoddion ar arwyneb y targed yn dechrau fel ffynhonnell atomau cyfansawdd ac yn dod yn rhwystr i ddarparu mwy o atomau cyfansawdd yn barhaus.
2, Ffactorau effaith gwenwyno targed
Y prif ffactor sy'n effeithio ar wenwyno'r targed yw'r gymhareb o nwy adwaith a nwy chwistrellu, bydd gormod o nwy adwaith yn arwain at wenwyno'r targed. Cynhelir y broses chwistrellu adweithiol yn ardal sianel chwistrellu wyneb y targed lle mae'n ymddangos bod ardal wedi'i gorchuddio gan y cyfansoddyn adwaith neu pan gaiff y cyfansoddyn adwaith ei stripio a'i ail-ddatgelu arwyneb y metel. Os yw cyfradd cynhyrchu cyfansoddyn yn fwy na chyfradd tynnu'r cyfansoddyn, mae ardal gorchudd y cyfansoddyn yn cynyddu. Ar bŵer penodol, mae faint o nwy adwaith sy'n gysylltiedig â chynhyrchu cyfansoddyn yn cynyddu ac mae cyfradd cynhyrchu cyfansoddyn yn cynyddu. Os yw faint o nwy adwaith yn cynyddu'n ormodol, mae ardal gorchudd y cyfansoddyn yn cynyddu. Ac os na ellir addasu cyfradd llif y nwy adwaith mewn pryd, ni chaiff cyfradd cynnydd ardal gorchudd y cyfansoddyn ei hatal, a bydd y sianel chwistrellu wedi'i gorchuddio ymhellach gan y cyfansoddyn, pan fydd y targed chwistrellu wedi'i orchuddio'n llawn gan y cyfansoddyn, mae'r targed wedi'i wenwyno'n llwyr.
3, Ffenomen gwenwyno targed
(1) cronni ïonau positif: pan fydd y targed yn cael ei wenwyno, bydd haen o ffilm inswleiddio yn cael ei ffurfio ar wyneb y targed, ac mae'r ïonau positif yn cyrraedd wyneb targed y catod oherwydd rhwystr yn yr haen inswleiddio. Nid ydynt yn mynd i mewn i wyneb targed y catod yn uniongyrchol, ond maent yn cronni ar wyneb y targed, gan gynhyrchu rhyddhau arc maes oer yn hawdd — arc, fel na all ysbeiddio'r catod barhau.
(2) diflaniad yr anod: pan fydd y targed wedi'i wenwyno, mae wal y siambr gwactod wedi'i seilio hefyd yn adneuo ffilm inswleiddio, gan atal electronau rhag mynd i mewn i'r anod, gan ffurfio ffenomen diflaniad yr anod.
4, Esboniad corfforol o wenwyno targed
(1) Yn gyffredinol, mae cyfernod allyriadau electronau eilaidd cyfansoddion metel yn uwch na chyfernod allyriadau metelau. Ar ôl gwenwyno targed, mae wyneb y targed i gyd yn gyfansoddion metel, ac ar ôl cael ei fomio gan ïonau, mae nifer yr electronau eilaidd a ryddheir yn cynyddu, sy'n gwella dargludedd gofod ac yn lleihau'r rhwystriant plasma, gan arwain at foltedd chwistrellu is. Mae hyn yn lleihau'r gyfradd chwistrellu. Yn gyffredinol, mae foltedd chwistrellu chwistrellu magnetron rhwng 400V-600V, a phan fydd gwenwyno targed yn digwydd, mae'r foltedd chwistrellu yn cael ei leihau'n sylweddol.
(2) Mae cyfradd chwistrellu wreiddiol targed metel a tharged cyfansawdd yn wahanol, yn gyffredinol mae cyfernod chwistrellu metel yn uwch na chyfernod chwistrellu cyfansawdd, felly mae'r gyfradd chwistrellu yn isel ar ôl gwenwyno targed.
(3) Mae effeithlonrwydd chwistrellu nwy chwistrellu adweithiol yn is yn wreiddiol nag effeithlonrwydd chwistrellu nwy anadweithiol, felly mae'r gyfradd chwistrellu gynhwysfawr yn lleihau ar ôl i gyfran y nwy adweithiol gynyddu.
5, Datrysiadau ar gyfer gwenwyno targed
(1) Mabwysiadu cyflenwad pŵer amledd canolig neu gyflenwad pŵer amledd radio.
(2) Mabwysiadu'r rheolaeth dolen gaeedig ar fewnlif nwy'r adwaith.
(3) Mabwysiadu targedau deuol
(4) Rheoli newid y modd cotio: Cyn cotio, cesglir cromlin effaith hysteresis gwenwyno targed fel bod llif aer y fewnfa yn cael ei reoli ar flaen cynhyrchu gwenwyno targed i sicrhau bod y broses bob amser yn y modd cyn i'r gyfradd dyddodiad ostwng yn serth.
–Cyhoeddwyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, gwneuthurwr offer cotio gwactod.
Amser postio: Tach-07-2022