Yn ystod cotio anweddu, mae niwcleiad a thwf yr haen ffilm yn sail i wahanol dechnoleg cotio ïonau.
1. Niwcleiadu
Intechnoleg cotio anweddu gwactodAr ôl i'r gronynnau haen ffilm anweddu o'r ffynhonnell anweddu ar ffurf atomau, maent yn hedfan yn uniongyrchol i'r darn gwaith mewn gwactod uchel ac yn ffurfio'r haen ffilm trwy niwcleiadu a thyfu ar wyneb y darn gwaith. Yn ystod anweddiad gwactod, mae egni atomau'r haen ffilm sy'n dianc o'r ffynhonnell anweddu tua 0.2eV. Pan fydd y cydlyniad rhwng gronynnau'r haen ffilm yn fwy na'r grym bondio rhwng atomau'r haen ffilm a'r darn gwaith, maent yn ffurfio niwclews ynys. Mae un atom haen ffilm yn aros ar wyneb y darn gwaith am gyfnod o amser gan wneud symudiad afreolaidd, trylediad, mudo, neu wrthdrawiad ag atomau eraill i ffurfio clystyrau atomig. Pan fydd nifer yr atomau yn y clwstwr atomig yn cyrraedd gwerth critigol penodol, mae niwclews sefydlog yn cael ei ffurfio, a elwir yn niwclews siâp homogenaidd.
llyfn, ac mae'n cynnwys llawer o ddiffygion a chamau, sy'n achosi'r gwahaniaeth yng ngrym amsugno gwahanol rannau o'r darn gwaith i'r atomau ymbelydrol. Mae egni amsugno arwyneb y diffyg yn fwy nag egni'r arwyneb arferol, felly mae'n dod yn ganolfan weithredol, sy'n ffafriol i niwcleiadu ffafriol, a elwir yn niwcleiad heterogenaidd. Pan fo'r grym cydlynol yn hafal i'r grym rhwymo, neu pan fo'r grym rhwymo rhwng yr atomau pilen a'r darn gwaith yn fwy na'r grym cydlynol rhwng yr atomau pilen, mae'r strwythur lamelar yn cael ei ffurfio. Mewn technoleg platio ïonau, mae craidd ynys yn cael ei ffurfio yn y rhan fwyaf o achosion.
2. Twf
Unwaith y bydd craidd y ffilm wedi'i ffurfio, mae'n parhau i dyfu trwy ddal yr atomau digwyddiadol. Mae'r ynysoedd yn tyfu ac yn cyfuno â'i gilydd i ffurfio hemisfferau mwy, gan ffurfio haen ynys hemisfferig yn raddol sy'n ymledu dros wyneb y darn gwaith.
Pan fydd egni atomig yr haen ffilm yn uchel, gall dryledu'n ddigonol ar yr wyneb a gellir ffurfio ffilm barhaus llyfn pan fydd y clystyrau atomig sy'n dod i mewn yn fach. Os yw trylediad yr atomau ar yr wyneb yn wan a maint y clystyrau a adneuwyd yn fawr, maent yn bodoli fel niwclysau penrhyn mawr. Mae gan ben craidd yr ynys effaith gysgodi gref ar y rhan geugrwm, sef yr "effaith gysgod". Mae tafluniad yr wyneb yn fwy ffafriol i ddal atomau a adneuwyd yn dilynol a thwf ffafriol, gan arwain at radd gynyddol o geugrwm ar yr wyneb i ffurfio crisialau conigol neu golofnog o faint digonol. Mae bylchau treiddiol yn cael eu ffurfio rhwng y crisialau conigol ac mae gwerth garwedd yr wyneb yn cynyddu. Gellir cael meinwe mân mewn gwactod uchel, gyda gostyngiad yn y radd gwactod, mae microstrwythur y bilen yn dod yn fwy trwchus ac yn fwy trwchus.
Amser postio: Mai-24-2023