Dyddodiad Anwedd Cemegol wedi'i Wella gan Plasma Pennod 1

Dyddodiad Anwedd Cemegol (CVD). Fel mae'r enw'n awgrymu, mae'n dechneg sy'n defnyddio adweithyddion rhagflaenol nwyol i gynhyrchu ffilmiau solet trwy adweithiau cemegol atomig a rhyngfoleciwlaidd. Yn wahanol i PVD, mae'r broses CVD yn cael ei chynnal yn bennaf mewn amgylchedd pwysedd uwch (gwactod is), gyda'r pwysedd uwch yn cael ei ddefnyddio'n bennaf i gynyddu cyfradd dyddodiad y ffilm. Gellir categoreiddio dyddodiad anwedd cemegol yn CVD cyffredinol (a elwir hefyd yn CVD thermol) a dyddodiad anwedd cemegol wedi'i wella â plasma (Dyddodiad Anwedd Cemegol wedi'i Wella â Plasma. PECVD) yn ôl a yw plasma yn rhan o'r broses ddyddodiad. Mae'r adran hon yn canolbwyntio ar dechnoleg PECVD gan gynnwys y broses PECVD ac offer PECVD a ddefnyddir yn gyffredin a'r egwyddor weithio.

Mae dyddodiad anwedd cemegol wedi'i wella gan plasma yn dechneg dyddodiad anwedd cemegol ffilm denau sy'n defnyddio plasma rhyddhau tywynnu i ddylanwadu ar y broses dyddodiad tra bod y broses dyddodiad anwedd cemegol pwysedd isel yn digwydd. Yn yr ystyr hwn, mae technoleg CVD gonfensiynol yn dibynnu ar dymheredd swbstrad uwch i wireddu'r adwaith cemegol rhwng sylweddau cyfnod nwy a dyddodiad ffilmiau tenau, ac felly gellir ei galw'n dechnoleg CVD thermol.

Yn y ddyfais PECVD, mae pwysedd y nwy gweithio tua 5 ~ 500 Pa, a gall dwysedd yr electronau a'r ïonau gyrraedd 109 ~ 1012 / cm3, tra gall ynni cyfartalog yr electronau gyrraedd 1 ~ 10 eV. Yr hyn sy'n gwahaniaethu'r dull PECVD oddi wrth ddulliau CVD eraill yw bod y plasma yn cynnwys nifer fawr o electronau ynni uchel, a all ddarparu'r ynni actifadu sydd ei angen ar gyfer y broses dyddodiad anwedd cemegol. Gall gwrthdrawiad electronau a moleciwlau cyfnod nwy hyrwyddo prosesau dadelfennu, cemosynthesis, cyffroi ac ïoneiddio moleciwlau nwy, gan gynhyrchu grwpiau cemegol adweithiol iawn, a thrwy hynny leihau ystod tymheredd dyddodiad ffilm denau CVD yn sylweddol, gan ei gwneud hi'n bosibl gwireddu'r broses CVD, y mae'n ofynnol ei chynnal yn wreiddiol ar dymheredd uchel, ar dymheredd isel. Mantais dyddodiad ffilm denau tymheredd isel yw y gall osgoi trylediad ac adwaith cemegol diangen rhwng y ffilm a'r swbstrad, newidiadau strwythurol a dirywiad y ffilm neu ddeunydd y swbstrad, a straen thermol mawr yn y ffilm a'r swbstrad.

–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua