Mae dau brif ddull o ddyddodiad â chymorth trawst ïonau, un yw hybrid deinamig; y llall yw hybrid statig. Mae'r cyntaf yn cyfeirio at y ffilm yn ystod y broses dyfu sydd bob amser yng nghwmni egni a cherrynt trawst penodol o fomio ïonau a ffilm; mae'r olaf yn cael ei ddyddodi ymlaen llaw ar wyneb y swbstrad gyda haen ffilm sydd llai nag ychydig nanometrau o drwch, ac yna'n cael ei fomio'n ddeinamig, a gellir ei ailadrodd sawl gwaith i dyfu'r haen ffilm.
Mae egni trawst ïonau a ddewisir ar gyfer dyddodiad ffilmiau tenau â chymorth trawst ïonau yn yr ystod o 30 eV i 100 keV. Mae'r ystod egni a ddewisir yn dibynnu ar y math o gymhwysiad y mae'r ffilm yn cael ei syntheseiddio ar ei gyfer. Er enghraifft, dylid dewis egni bomio uwch wrth baratoi amddiffyniad cyrydiad, gwrth-wisgo mecanyddol, haenau addurniadol a ffilmiau tenau eraill. Mae arbrofion yn dangos, fel dewis egni 20 i 40keV ar gyfer bomio'r trawst ïonau, na fydd y deunydd swbstrad a'r ffilm ei hun yn effeithio ar berfformiad a defnydd y difrod. Wrth baratoi ffilmiau tenau ar gyfer dyfeisiau optegol ac electronig, dylid dewis dyddodiad â chymorth trawst ïonau ag egni is, sydd nid yn unig yn lleihau'r amsugno golau ac yn osgoi ffurfio diffygion a actifadu'n drydanol, ond hefyd yn hwyluso ffurfio strwythur cyflwr cyson y bilen. Mae astudiaethau wedi dangos y gellir cael ffilmiau â phriodweddau rhagorol trwy ddewis egni ïonau sy'n is na 500 eV.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Mawrth-11-2024