Pan fydd dyddodiad atomau pilen yn dechrau, mae gan fomio ïonau'r effeithiau canlynol ar y rhyngwyneb pilen/swbstrad.
(1) Cymysgu ffisegol. Oherwydd chwistrelliad ïonau egni uchel, bydd chwistrellu'r atomau a adneuwyd a chwistrelliad recoil atomau arwyneb a ffenomen gwrthdrawiad rhaeadr, yn achosi cymysgedd an-drylediadol arwynebedd agos at wyneb rhyngwyneb y bilen/sylfaen rhwng elfennau'r swbstrad ac elfennau'r bilen, a bydd yr effaith gymysgu hon yn ffafriol i ffurfio "haen ffug-drylediadol" rhyngwyneb y bilen/sylfaen, hynny yw, yr haen drawsnewid rhwng y rhyngwyneb bilen/sylfaen, hyd at ychydig ficron o drwch. Ychydig ficrometrau o drwch, lle gall cyfnodau newydd ymddangos hyd yn oed. Mae hyn yn ffafriol iawn i wella cryfder adlyniad rhyngwyneb y bilen/sylfaen.
(2) Trylediad gwell. Mae'r crynodiad diffyg uchel yn y rhanbarth agos at yr wyneb a'r tymheredd uchel yn cynyddu'r gyfradd trylediad. Gan fod yr wyneb yn ddiffyg pwynt, mae gan ïonau bach duedd i wyro'r wyneb, ac mae gan fomio ïonau'r effaith o wella'r gwyriad wyneb ymhellach a gwella trylediad cydfuddiannol atomau a adneuwyd ac atomau swbstrad.
(3) Modd niwcleiadu gwell. Mae priodweddau'r atom sydd wedi'i gyddwyso ar wyneb y swbstrad yn cael eu pennu gan ei ryngweithio arwyneb a'i briodweddau mudo ar yr wyneb. Os nad oes rhyngweithio cryf rhwng yr atom cyddwys ac wyneb y swbstrad, bydd yr atom yn tryledu ar yr wyneb nes iddo niwcleiadu mewn safle egni uchel neu'n gwrthdaro ag atomau tryledu eraill. Gelwir y modd niwcleiadu hwn yn niwcleiadu an-adweithiol. Hyd yn oed os yw'r gwreiddiol yn perthyn i achos y modd niwcleiadu an-adweithiol, gall bomio ïonau ar wyneb y swbstrad gynhyrchu mwy o ddiffygion, gan gynyddu'r dwysedd niwcleiadu, sy'n fwy ffafriol i ffurfio trylediad - modd niwcleiadu adweithiol.
(4) Tynnu atomau sydd wedi'u rhwymo'n rhydd yn ffafriol. Mae chwistrellu atomau arwyneb yn cael ei bennu gan y cyflwr bondio lleol, ac mae bomio ïonau'r wyneb yn fwy tebygol o chwistrellu atomau sydd wedi'u bondio'n rhydd. Mae'r effaith hon yn fwy amlwg wrth ffurfio rhyngwynebau sy'n adweithiol i drylediad.
(5) Gwella gorchudd arwyneb a gwella osgoi platio. Oherwydd pwysedd nwy gweithio uchel platio ïonau, mae atomau anweddedig neu chwistrelledig yn destun gwrthdrawiad ag atomau nwy i wella gwasgariad, gan arwain at briodweddau lapio cotio da.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Rhag-09-2023