Technegau confensiynol ar gyfer dyddodi haenau caled

1. Technoleg CVD thermol

Haenau ceramig metel (TiN, ac ati) yw haenau caled yn bennaf, sy'n cael eu ffurfio trwy adwaith metel yn yr haen a nwyeiddio adweithiol. Ar y dechrau, defnyddiwyd y dechnoleg CVD thermol i ddarparu egni actifadu adwaith Cyfuniad gan egni thermol ar dymheredd uchel o 1000 ℃. Dim ond ar gyfer dyddodi TiN a haenau caled eraill ar offer carbid smentio y mae'r tymheredd hwn yn addas. Hyd yn hyn, mae'n dal i fod yn dechnoleg bwysig ar gyfer dyddodi haenau cyfansawdd TiN – Al2O3 ar bennau offer carbid smentio.

1. Gorchudd ïon catod gwag a gorchudd ïon arc gwifren boeth

Yn yr 1980au, defnyddiwyd cotio ïonau catod gwag a chotio ïonau arc gwifren boeth i ddyddodi offer torri wedi'u cotio. Mae'r ddau dechnoleg cotio ïonau hyn yn dechnolegau cotio ïonau rhyddhau arc, gyda chyfradd ïoneiddio metel o hyd at 20% ~ 40%.

1. Gorchudd ïon arc cathod

Mae ymddangosiad cotio ïonau arc cathodig wedi arwain at ddatblygiad y dechnoleg o ddyddodi haenau caled ar fowldiau. Mae cyfradd ïoneiddio cotio ïonau arc cathodig rhwng 60% a 90%, gan ganiatáu i nifer fawr o ïonau metel ac ïonau nwy adwaith gyrraedd wyneb y darn gwaith a dal i gynnal gweithgaredd uchel, gan arwain at ddyddodiad adwaith a ffurfio haenau caled fel TiN. Ar hyn o bryd, defnyddir technoleg cotio ïonau arc cathodig yn bennaf i ddyddodi haenau caled ar fowldiau.

Mae ffynhonnell arc catod yn ffynhonnell anweddu cyflwr solet heb bwll tawdd sefydlog, a gellir gosod safle ffynhonnell arc yn fympwyol, gan wella cyfradd defnyddio gofod yr ystafell orchuddio a chynyddu capasiti llwytho'r ffwrnais. Mae siapiau ffynonellau arc catod yn cynnwys ffynonellau arc catod crwn bach, ffynonellau arc colofnog, a ffynonellau arc mawr gwastad petryalog. Gellir trefnu gwahanol gydrannau o ffynonellau arc bach, ffynonellau arc colofnog, a ffynonellau arc mawr ar wahân i adneuo ffilmiau aml-haen a ffilmiau aml-haen nano. Yn y cyfamser, oherwydd y gyfradd ïoneiddio metel uchel o orchuddio ïon arc catodig, gall ïonau metel amsugno mwy o nwyon adwaith, gan arwain at ystod broses eang a gweithrediad syml i gael haenau caled rhagorol. Fodd bynnag, mae diferion bras ym microstrwythur yr haen orchuddio a geir trwy orchuddio ïon arc catodig. Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae llawer o dechnolegau newydd wedi dod i'r amlwg i fireinio strwythur yr haen ffilm, sydd wedi gwella ansawdd y ffilm orchuddio ïon arc.