Tecniche cunvenziunali per deposità rivestimenti duri

1. Tecnulugia CVD termica

I rivestimenti duri sò soprattuttu rivestimenti metallo-ceramici (TiN, ecc.), chì sò furmati da a reazione di u metallu in u rivestimentu è a gassificazione reattiva. Inizialmente, a tecnulugia CVD termica hè stata aduprata per furnisce l'energia di attivazione di a reazione di cumbinazione per energia termica à una temperatura alta di 1000 ℃. Sta temperatura hè adatta solu per deposità TiN è altri rivestimenti duri nantu à strumenti di carburo cementatu. Finu à avà, hè sempre una tecnulugia impurtante per deposità rivestimenti cumposti TiN - Al2O3 nantu à teste di strumenti di carburo cementatu.

1. Rivestimentu di ioni à catodu cavu è rivestimentu di ioni à arcu à filu caldu

In l'anni 1980, u rivestimentu ionicu à catodu cavu è u rivestimentu ionicu à arcu à filu caldu sò stati utilizati per deposità strumenti di taglio rivestiti. Tramindui queste tecnulugie di rivestimentu ionicu sò tecnulugie di rivestimentu ionicu à scarica d'arcu, cù un tassu di ionizazione di i metalli finu à 20% ~ 40%.

1. Rivestimentu di ioni à arcu catodicu

L'emergenza di a cating per ioni d'arcu catodicu hà purtatu à u sviluppu di a tecnulugia di depositu di rivestimenti duri nantu à stampi. A velocità di ionizazione di u rivestimentu per ioni d'arcu catodicu hè di 60% à 90%, ciò chì permette à un gran numeru di ioni metallichi è ioni di gas di reazione di ghjunghje à a superficia di a pezza è di mantene sempre una alta attività, ciò chì porta à a deposizione di reazione è à a furmazione di rivestimenti duri cum'è u TiN. Attualmente, a tecnulugia di rivestimentu per ioni d'arcu catodicu hè aduprata principalmente per deposità rivestimenti duri nantu à stampi.

A fonte d'arcu catodicu hè una fonte d'evaporazione à statu solidu senza un bagnu fusu fissu, è a pusizione di a fonte d'arcu pò esse piazzata arbitrariamente, migliurendu u tassu d'utilizazione di u spaziu di a stanza di rivestimentu è aumentendu a capacità di carica di u fornu. E forme di e fonti d'arcu catodicu includenu piccule fonti d'arcu catodicu circulari, fonti d'arcu culunnare è fonti d'arcu grande piane rettangulari. Diversi cumpunenti di fonti d'arcu chjuche, fonti d'arcu culunnare è fonti d'arcu grande ponu esse disposti separatamente per deposità filmi multistrati è nano filmi multistrati. Intantu, per via di l'altu tassu d'ionizazione metallica di u rivestimentu di ioni d'arcu catodicu, l'ioni metallichi ponu assorbe più gas di reazione, risultendu in una larga gamma di prucessi è un funziunamentu simplice per ottene eccellenti rivestimenti duri. Tuttavia, ci sò gocce grossolane in a microstruttura di u stratu di rivestimentu ottenutu da u rivestimentu di ioni d'arcu catodicu. In l'ultimi anni, sò emerse parechje nuove tecnulugie per raffinà a struttura di u stratu di film, ciò chì hà migliuratu a qualità di u film di rivestimentu di ioni d'arcu.