Adunay duha ka nag-unang mga paagi sa ion beam-assisted deposition, ang usa mao ang dinamikong hybrid; ang lain kay static hybrid. Ang kanhi nagtumong sa pelikula sa proseso sa pagtubo kanunay nga giubanan sa usa ka piho nga kusog ug sagbayan nga kasamtangan sa pagpamomba sa ion ug pelikula; ang ulahi mao ang pre-deposited sa ibabaw sa substrate sa usa ka layer sa ubos pa kay sa usa ka pipila ka nanometer gibag-on sa pelikula layer, ug unya dinamikong ion pagpamomba, ug mahimong gisubli sa daghang mga higayon ug ang pagtubo sa pelikula layer.
Ang mga kusog sa ion beam nga gipili alang sa ion beam assisted deposition sa nipis nga mga pelikula anaa sa han-ay sa 30 eV ngadto sa 100 keV. Ang gipili nga range sa enerhiya nagdepende sa klase sa aplikasyon diin gi-synthesize ang pelikula. Pananglitan, ang pag-andam sa pagpanalipod sa kaagnasan, anti-mekanikal nga pagsul-ob, pangdekorasyon nga mga sapaw ug uban pang manipis nga mga pelikula kinahanglan nga mapili nga mas taas nga bombardment energy. Gipakita sa mga eksperimento nga, sama sa pagpili sa 20 ngadto sa 40keV nga enerhiya sa pagpamomba sa ion beam, ang substrate nga materyal ug ang pelikula mismo dili makaapekto sa pasundayag ug paggamit sa kadaot. Sa pag-andam sa nipis nga mga pelikula alang sa optical ug electronic nga mga himan, kinahanglan nga pilion ang ubos nga enerhiya nga ion beam nga gitabangan nga pagdeposito, nga dili lamang makapakunhod sa kahayag nga adsorption ug makalikay sa pagporma sa mga depekto nga gipalihok sa elektrisidad, apan nagpadali usab sa pagporma sa steady state structure sa lamad. Gipakita sa mga pagtuon nga ang mga pelikula nga adunay maayo kaayo nga mga kabtangan mahimong makuha pinaagi sa pagpili sa mga kusog sa ion nga ubos sa 500 eV.
–Kini nga artikulo gipagawas nivacuum coating machine manufacturerGuangdong Zhenhua
Oras sa pag-post: Mar-11-2024