Quan comença la deposició d'àtoms de membrana, el bombardeig iònic té els següents efectes sobre la interfície membrana/substrat.
(1) Mescla física. A causa de la injecció d'ions d'alta energia, la polvorització dels àtoms dipositats i la injecció de retrocés dels àtoms superficials i el fenomen de col·lisió en cascada, provocarà que la superfície propera a la interfície membrana/base dels elements del substrat i els elements de membrana es mescli sense difusió. Aquest efecte de mescla afavorirà la formació de la "pseudocapa de difusió" de la interfície membrana/base, és a dir, la capa de transició entre la interfície membrana/base, de fins a uns pocs micròmetres de gruix, en la qual fins i tot poden aparèixer noves fases. Això és molt favorable per millorar la força d'adhesió de la interfície membrana/base.
(2) Difusió millorada. L'alta concentració de defectes a la regió propera a la superfície i l'alta temperatura augmenten la velocitat de difusió. Com que la superfície és un defecte puntual, els ions petits tendeixen a desviar la superfície, i el bombardeig iònic té l'efecte de millorar encara més la desviació de la superfície i millorar la difusió mútua dels àtoms dipositats i del substrat.
(3) Mode de nucleació millorat. Les propietats de l'àtom condensat a la superfície del substrat estan determinades per la seva interacció superficial i les seves propietats de migració a la superfície. Si no hi ha una forta interacció entre l'àtom condensat i la superfície del substrat, l'àtom es difondrà a la superfície fins que nucleï en una posició d'alta energia o xoqui amb altres àtoms difusors. Aquest mode de nucleació s'anomena nucleació no reactiva. Fins i tot si l'original pertany al cas del mode de nucleació no reactiu, el bombardeig iònic de la superfície del substrat pot produir més defectes, augmentant la densitat de nucleació, cosa que és més propícia per a la formació de difusió: mode de nucleació reactiva.
(4) Eliminació preferencial d'àtoms amb enllaços febles. La polvorització dels àtoms de la superfície està determinada per l'estat d'enllaç local, i el bombardeig iònic de la superfície és més probable que expulsi els àtoms amb enllaços febles. Aquest efecte és més pronunciat en la formació d'interfícies reactives a la difusió.
(5) Millora de la cobertura superficial i millora de la derivació del recobriment. A causa de l'alta pressió del gas de treball del recobriment iònic, els àtoms evaporats o polvoritzats se sotmeten a col·lisions amb àtoms de gas per millorar la dispersió, donant lloc a bones propietats envoltants del recobriment.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 09 de desembre de 2023