Kada započne taloženje membranskih atoma, bombardovanje ionima ima sljedeće efekte na granicu membrana/supstrat.
(1) Fizičko miješanje. Zbog ubrizgavanja visokoenergetskih iona, raspršivanja deponovanih atoma i ubrizgavanja trzaja površinskih atoma i fenomena kaskadnog sudara, uzrokovat će nedifuzijsko miješanje u blizini površine membrane/baze među elementima supstrata i membranskim elementima. Ovaj efekat miješanja će pogodovati formiranju "pseudo-difuzijskog sloja" na membrani/baznoj granici, odnosno prelaznog sloja između membrane/baze, debljine do nekoliko mikrometara. Debljine nekoliko mikrometara, u kojem se mogu pojaviti čak i nove faze. Ovo je vrlo povoljno za poboljšanje čvrstoće prianjanja na membrani/baznoj granici.
(2) Poboljšana difuzija. Visoka koncentracija defekata u području blizu površine i visoka temperatura povećavaju brzinu difuzije. Budući da je površina tačkasti defekt, mali ioni imaju tendenciju da je skreću, a bombardovanje ionima ima učinak daljnjeg povećanja površinskog skrećanja i poboljšanja međusobne difuzije deponovanih i atoma supstrata.
(3) Poboljšani način nukleacije. Svojstva atoma kondenziranog na površini supstrata određena su njegovom površinskom interakcijom i njegovim migracijskim svojstvima na površini. Ako ne postoji jaka interakcija između kondenziranog atoma i površine supstrata, atom će difundirati na površini sve dok ne nukleira na visokoenergetskoj poziciji ili se sudari s drugim difuzirajućim atomima. Ovaj način nukleacije naziva se nereaktivna nukleacija. Čak i ako original pripada slučaju nereaktivnog načina nukleacije, bombardiranje površine supstrata ionima može proizvesti više defekata, povećavajući gustoću nukleacije, što je pogodnije za stvaranje difuzijsko-reaktivnog načina nukleacije.
(4) Preferencijalno uklanjanje labavo vezanih atoma. Raspršivanje površinskih atoma određeno je lokalnim stanjem veze, a bombardiranje površine ionima vjerovatnije će raspršiti labavo vezane atome. Ovaj efekat je izraženiji pri formiranju difuzijski reaktivnih međupovršina.
(5) Poboljšanje pokrivenosti površine i poboljšanje zaobilaženja prevlake. Zbog visokog radnog pritiska gasa kod jonskog prevlačenja, ispareni ili raspršeni atomi su izloženi sudaru sa atomima gasa radi poboljšanja raspršenja, što rezultira dobrim svojstvima obavijanja premaza.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 09.12.2023.