১, লক্ষ্য পৃষ্ঠে ধাতব যৌগের গঠন
একটি ধাতব লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠ থেকে একটি প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে যৌগ তৈরির প্রক্রিয়ায় যৌগটি কোথায় তৈরি হয়? যেহেতু প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস কণা এবং লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠের পরমাণুর মধ্যে রাসায়নিক বিক্রিয়া যৌগিক পরমাণু তৈরি করে, যা সাধারণত বহির্মুখী হয়, তাই প্রতিক্রিয়া তাপ অবশ্যই সঞ্চালনের একটি উপায় থাকতে হবে, অন্যথায় রাসায়নিক বিক্রিয়া চলতে পারে না। ভ্যাকুয়াম পরিস্থিতিতে, গ্যাসের মধ্যে তাপ স্থানান্তর সম্ভব নয়, তাই রাসায়নিক বিক্রিয়া অবশ্যই একটি কঠিন পৃষ্ঠে সঞ্চালিত হতে হবে। প্রতিক্রিয়া স্পুটারিং লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠ, স্তর পৃষ্ঠ এবং অন্যান্য কাঠামোগত পৃষ্ঠে যৌগ তৈরি করে। স্তর পৃষ্ঠে যৌগ তৈরি করা লক্ষ্য, অন্যান্য কাঠামোগত পৃষ্ঠে যৌগ তৈরি করা সম্পদের অপচয়, এবং লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠে যৌগ তৈরি করা যৌগিক পরমাণুর উৎস হিসাবে শুরু হয় এবং ক্রমাগত আরও যৌগিক পরমাণু সরবরাহের ক্ষেত্রে বাধা হয়ে দাঁড়ায়।
২, লক্ষ্যবস্তু বিষক্রিয়ার প্রভাবের কারণগুলি
লক্ষ্যবস্তুতে বিক্রিয়া গ্যাস এবং স্পুটারিং গ্যাসের অনুপাতকে প্রভাবিত করে এমন প্রধান কারণ হল বিক্রিয়া গ্যাস, অত্যধিক বিক্রিয়া গ্যাস লক্ষ্যবস্তুতে বিক্রিয়াশীল স্পুটারিং প্রক্রিয়া পরিচালিত হয়। লক্ষ্যবস্তুতে স্পুটারিং চ্যানেল এলাকাটি বিক্রিয়া যৌগ দ্বারা আবৃত বলে মনে হয় অথবা বিক্রিয়া যৌগটি ছিনিয়ে নেওয়া হয় এবং ধাতব পৃষ্ঠ পুনরায় উন্মুক্ত করা হয়। যদি যৌগ উৎপাদনের হার যৌগ অপসারণের হারের চেয়ে বেশি হয়, তাহলে যৌগ কভারেজ এলাকা বৃদ্ধি পায়। একটি নির্দিষ্ট শক্তিতে, যৌগ উৎপাদনে জড়িত বিক্রিয়া গ্যাসের পরিমাণ বৃদ্ধি পায় এবং যৌগ উৎপাদনের হার বৃদ্ধি পায়। যদি বিক্রিয়া গ্যাসের পরিমাণ অত্যধিক বৃদ্ধি পায়, তাহলে যৌগ কভারেজ এলাকা বৃদ্ধি পায়। এবং যদি বিক্রিয়া গ্যাস প্রবাহ হার সময়মতো সামঞ্জস্য করা না যায়, তাহলে যৌগ কভারেজ এলাকা বৃদ্ধির হার দমন করা হয় না, এবং স্পুটারিং চ্যানেলটি যৌগ দ্বারা আরও আবৃত হবে, যখন স্পুটারিং লক্ষ্য সম্পূর্ণরূপে যৌগ দ্বারা আবৃত হয়, লক্ষ্যবস্তু সম্পূর্ণরূপে বিষাক্ত হয়।
৩, লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়ার ঘটনা
(১) ধনাত্মক আয়ন জমা: লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়ার সময়, লক্ষ্যবস্তুতে অন্তরক ফিল্মের একটি স্তর তৈরি হয়, অন্তরক স্তরের বাধার কারণে ধনাত্মক আয়নগুলি ক্যাথোড লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছায়। সরাসরি ক্যাথোড লক্ষ্যবস্তুতে প্রবেশ করে না, তবে লক্ষ্যবস্তুতে জমা হয়, ঠান্ডা ক্ষেত্র থেকে আর্ক ডিসচার্জ তৈরি করা সহজ - আর্কিং, যাতে ক্যাথোড স্পুটারিং চলতে না পারে।
(২) অ্যানোড অন্তর্ধান: যখন লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়া ঘটে, তখন গ্রাউন্ডেড ভ্যাকুয়াম চেম্বারের প্রাচীরটি অন্তরক ফিল্ম জমা করে, অ্যানোডে পৌঁছানো ইলেকট্রনগুলি অ্যানোডে প্রবেশ করতে পারে না, অ্যানোড অন্তর্ধানের ঘটনাটি তৈরি হয়।
৪, লক্ষ্যবস্তু বিষক্রিয়ার ভৌত ব্যাখ্যা
(১) সাধারণভাবে, ধাতব যৌগের সেকেন্ডারি ইলেকট্রন নির্গমন সহগ ধাতুর তুলনায় বেশি। লক্ষ্যবস্তুতে বিষক্রিয়ার পরে, লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠটি সমস্ত ধাতব যৌগ দিয়ে তৈরি হয় এবং আয়ন দ্বারা বোমাবর্ষণের পরে, সেকেন্ডারি ইলেকট্রনের নির্গত সংখ্যা বৃদ্ধি পায়, যা স্থানের পরিবাহিতা উন্নত করে এবং প্লাজমা প্রতিবন্ধকতা হ্রাস করে, যার ফলে স্পুটারিং ভোল্টেজ কম হয়। এটি স্পুটারিং হার হ্রাস করে। সাধারণত ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের স্পুটারিং ভোল্টেজ 400V-600V এর মধ্যে থাকে এবং যখন টার্গেট বিষক্রিয়া ঘটে, তখন স্পুটারিং ভোল্টেজ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পায়।
(2) ধাতব লক্ষ্য এবং যৌগিক লক্ষ্য মূলত স্পুটারিং হার ভিন্ন, সাধারণভাবে ধাতুর স্পুটারিং সহগ যৌগের স্পুটারিং সহগের চেয়ে বেশি, তাই লক্ষ্য বিষক্রিয়ার পরে স্পুটারিং হার কম।
(৩) প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিং গ্যাসের স্পুটারিং দক্ষতা মূলত নিষ্ক্রিয় গ্যাসের স্পুটারিং দক্ষতার চেয়ে কম, তাই প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের অনুপাত বৃদ্ধির পরে ব্যাপক স্পুটারিং হার হ্রাস পায়।
৫, লক্ষ্যবস্তু বিষক্রিয়ার সমাধান
(১) মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই বা রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই গ্রহণ করুন।
(২) বিক্রিয়া গ্যাস প্রবাহের বন্ধ লুপ নিয়ন্ত্রণ গ্রহণ করুন।
(৩) যমজ লক্ষ্যবস্তু গ্রহণ করুন
(৪) আবরণ মোডের পরিবর্তন নিয়ন্ত্রণ করুন: আবরণের আগে, লক্ষ্য বিষক্রিয়ার হিস্টেরেসিস প্রভাব বক্ররেখা সংগ্রহ করা হয় যাতে লক্ষ্য বিষক্রিয়া উৎপাদনের সামনের দিকে প্রবেশপথের বায়ু প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করা হয় যাতে জমার হার তীব্রভাবে কমে যাওয়ার আগে প্রক্রিয়াটি সর্বদা মোডে থাকে।
–এই প্রবন্ধটি ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত।
পোস্টের সময়: নভেম্বর-০৭-২০২২