১. বাষ্পীভবনের হার বাষ্পীভূত আবরণের বৈশিষ্ট্যের উপর প্রভাব ফেলবে
বাষ্পীভবনের হার জমা হওয়া ফিল্মের উপর বিরাট প্রভাব ফেলে। যেহেতু কম জমা হওয়ার হারের ফলে তৈরি আবরণ কাঠামোটি আলগা এবং সহজেই বৃহৎ কণা জমা হতে পারে, তাই আবরণ কাঠামোর ঘনত্ব নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ বাষ্পীভবনের হার বেছে নেওয়া খুবই নিরাপদ। যখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ স্থির থাকে, তখন সাবস্ট্রেটের বোমাবর্ষণের হার একটি ধ্রুবক মান। অতএব, উচ্চ জমা হওয়ার হার নির্বাচন করার পরে জমা হওয়া ফিল্মে থাকা অবশিষ্ট গ্যাস হ্রাস পাবে, ফলে অবশিষ্ট গ্যাস অণু এবং বাষ্পীভূত ফিল্ম কণার মধ্যে রাসায়নিক বিক্রিয়া হ্রাস পাবে। অতএব, জমা হওয়া ফিল্মের বিশুদ্ধতা উন্নত করা যেতে পারে। এটি লক্ষ করা উচিত যে জমা হওয়ার হার খুব দ্রুত হলে, এটি ফিল্মের অভ্যন্তরীণ চাপ বাড়িয়ে দিতে পারে, এটি ফিল্মে ত্রুটি বৃদ্ধি করতে পারে এবং এমনকি ফিল্মটি ফেটে যেতে পারে। বিশেষ করে, প্রতিক্রিয়াশীল বাষ্পীভবন প্লেটিং প্রক্রিয়ায়, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসকে বাষ্পীভবন ফিল্ম উপাদানের কণার সাথে সম্পূর্ণরূপে বিক্রিয়া করতে, আপনি একটি কম জমা হওয়ার হার নির্বাচন করতে পারেন। অবশ্যই, বিভিন্ন উপকরণ বিভিন্ন বাষ্পীভবনের হার বেছে নেয়। ব্যবহারিক উদাহরণ হিসেবে - প্রতিফলিত ফিল্মের জমা, যদি ফিল্মের পুরুত্ব 600×10-8cm হয় এবং বাষ্পীভবনের সময় 3s হয়, তাহলে প্রতিফলন 93% হয়। তবে, যদি একই পুরুত্বের অবস্থায় বাষ্পীভবনের হার কমানো হয়, তাহলে ফিল্ম জমা সম্পূর্ণ করতে 10 মিনিট সময় লাগে। এই সময়ে, ফিল্মের পুরুত্ব একই থাকে। তবে, প্রতিফলন 68% এ নেমে এসেছে।
2. সাবট্রেট তাপমাত্রা বাষ্পীভবন আবরণের উপর প্রভাব ফেলবে
বাষ্পীভবন আবরণের উপর সাবস্ট্রেট তাপমাত্রার বিরাট প্রভাব রয়েছে। উচ্চ সাবস্ট্রেট তাপমাত্রায় সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে শোষিত অবশিষ্ট গ্যাস অণুগুলি অপসারণ করা সহজ। বিশেষ করে জলীয় বাষ্পের অণুগুলির নির্মূল করা আরও গুরুত্বপূর্ণ। অধিকন্তু, উচ্চ তাপমাত্রায়, ভৌত শোষণ থেকে রাসায়নিক শোষণে রূপান্তরকে উৎসাহিত করা কেবল সহজ নয়, ফলে কণাগুলির মধ্যে বন্ধন শক্তি বৃদ্ধি পায়। অধিকন্তু, এটি বাষ্প অণুর পুনঃস্ফটিকীকরণ তাপমাত্রা এবং সাবস্ট্রেট তাপমাত্রার মধ্যে পার্থক্যও কমাতে পারে, ফলে ফিল্ম-ভিত্তিক ইন্টারফেসের অভ্যন্তরীণ চাপ হ্রাস বা নির্মূল করা যায়। উপরন্তু, যেহেতু সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা ফিল্মের স্ফটিক অবস্থার সাথে সম্পর্কিত, তাই কম সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা বা কোনও উত্তাপের অবস্থায় প্রায়শই নিরাকার বা মাইক্রোস্ফটিক আবরণ তৈরি করা সহজ। বিপরীতে, যখন তাপমাত্রা বেশি থাকে, তখন স্ফটিক আবরণ তৈরি করা সহজ। সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা বৃদ্ধি আবরণের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে উন্নত করার জন্যও সহায়ক। অবশ্যই, আবরণের বাষ্পীভবন রোধ করার জন্য সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা খুব বেশি হওয়া উচিত নয়।
৩. ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ফিল্মের বৈশিষ্ট্যের উপর প্রভাব ফেলবে
ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ঝিল্লির কর্মক্ষমতার উপর বিরাট প্রভাব ফেলে। খুব বেশি চাপের সাথে অবশিষ্ট গ্যাসের অণুগুলি কেবল বাষ্পীভবনকারী কণার সাথে সংঘর্ষ করা সহজ করে না, যা সাবস্ট্রেটে থাকা মানুষের গতিশক্তি হ্রাস করবে এবং ফিল্মের আনুগত্যকে প্রভাবিত করবে। এছাড়াও, খুব বেশি অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ফিল্মের বিশুদ্ধতাকে মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করবে এবং আবরণের কর্মক্ষমতা হ্রাস করবে।
৪. বাষ্পীভবন আবরণের উপর বাষ্পীভবন তাপমাত্রার প্রভাব
বাষ্পীভবন তাপমাত্রার প্রভাব ঝিল্লির কর্মক্ষমতার উপর তাপমাত্রার সাথে বাষ্পীভবন হারের পরিবর্তন দ্বারা প্রদর্শিত হয়। বাষ্পীভবন তাপমাত্রা বেশি হলে, বাষ্পীভবনের তাপ হ্রাস পাবে। যদি ঝিল্লির উপাদান বাষ্পীভবন তাপমাত্রার উপরে বাষ্পীভূত হয়, তবে তাপমাত্রার সামান্য পরিবর্তনও ঝিল্লির উপাদানের বাষ্পীভবন হারে তীব্র পরিবর্তন আনতে পারে। অতএব, বাষ্পীভবন উৎস উত্তপ্ত করার সময় বড় তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট এড়াতে ফিল্ম জমার সময় বাষ্পীভবন তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যে ফিল্ম উপাদানটি সহজেই পরমানন্দ করা যায়, তার জন্য বাষ্পীভবন এবং অন্যান্য পরিমাপের জন্য উপাদানটিকে হিটার হিসাবে নির্বাচন করাও খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
৫. সাবস্ট্রেট এবং লেপ চেম্বারের পরিষ্কারের অবস্থা লেপের কর্মক্ষমতার উপর প্রভাব ফেলবে
লেপের কর্মক্ষমতার উপর সাবস্ট্রেট এবং লেপ চেম্বারের পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার প্রভাব উপেক্ষা করা যায় না। এটি কেবল জমা হওয়া ফিল্মের বিশুদ্ধতার উপরই মারাত্মক প্রভাব ফেলবে না, বরং ফিল্মের আনুগত্যও কমিয়ে দেবে। অতএব, সাবস্ট্রেটের পরিশোধন, ভ্যাকুয়াম লেপ চেম্বার এবং এর সম্পর্কিত উপাদানগুলির (যেমন সাবস্ট্রেট ফ্রেম) পরিষ্কারের প্রক্রিয়া এবং পৃষ্ঠের গ্যাস অপসারণ ভ্যাকুয়াম লেপ প্রক্রিয়ায় অপরিহার্য প্রক্রিয়া।
পোস্টের সময়: ফেব্রুয়ারী-২৮-২০২৩