যখন ঝিল্লি পরমাণুর জমা শুরু হয়, তখন আয়ন বোমাবর্ষণের ফলে ঝিল্লি/সাবস্ট্রেট ইন্টারফেসের উপর নিম্নলিখিত প্রভাব পড়ে।
(১) ভৌত মিশ্রণ। উচ্চ-শক্তি আয়ন ইনজেকশন, জমা হওয়া পরমাণুর স্পুটারিং এবং পৃষ্ঠের পরমাণুর রিকয়েল ইনজেকশন এবং ক্যাসকেড সংঘর্ষের ঘটনার কারণে, সাবস্ট্রেট উপাদানগুলির ঝিল্লি/বেস ইন্টারফেসের কাছাকাছি-পৃষ্ঠ এলাকা এবং অ-প্রসারণ মিশ্রণের ঝিল্লি উপাদানগুলির সৃষ্টি হবে, এই মিশ্রণ প্রভাব ঝিল্লি/বেস ইন্টারফেস "ছদ্ম-প্রসারণ স্তর" গঠনের জন্য সহায়ক হবে, অর্থাৎ, ঝিল্লি/বেস ইন্টারফেসের মধ্যে ট্রানজিশন স্তর, কয়েক মাইক্রন পুরু পর্যন্ত। কয়েক মাইক্রোমিটার পুরু, যেখানে নতুন পর্যায়গুলিও দেখা দিতে পারে। এটি ঝিল্লি/বেস ইন্টারফেসের আনুগত্য শক্তি উন্নত করার জন্য খুবই অনুকূল।
(২) বর্ধিত বিস্তার। নিকট-পৃষ্ঠ অঞ্চলে উচ্চ ত্রুটি ঘনত্ব এবং উচ্চ তাপমাত্রা বিস্তারের হার বৃদ্ধি করে। যেহেতু পৃষ্ঠটি একটি বিন্দু ত্রুটি, তাই ছোট আয়নগুলির পৃষ্ঠকে বিচ্যুত করার প্রবণতা থাকে এবং আয়ন বোমাবর্ষণের ফলে পৃষ্ঠের বিচ্যুতি আরও বৃদ্ধি পায় এবং জমা এবং স্তর পরমাণুর পারস্পরিক বিস্তার বৃদ্ধি পায়।
(৩) উন্নত নিউক্লিয়েশন মোড। সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে ঘনীভূত পরমাণুর বৈশিষ্ট্যগুলি তার পৃষ্ঠের মিথস্ক্রিয়া এবং পৃষ্ঠের স্থানান্তর বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়। যদি ঘনীভূত পরমাণু এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের মধ্যে কোনও শক্তিশালী মিথস্ক্রিয়া না থাকে, তাহলে পরমাণুটি পৃষ্ঠের উপরে ছড়িয়ে থাকবে যতক্ষণ না এটি উচ্চ-শক্তি অবস্থানে নিউক্লিয়েট হয় অথবা অন্যান্য ডিফিউজারিং পরমাণুর সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয়। নিউক্লিয়েশনের এই মোডকে অ-প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন বলা হয়। এমনকি যদি মূলটি অ-প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন মোডের ক্ষেত্রেও হয়, সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের উপর আয়ন বোমাবর্ষণ দ্বারা আরও ত্রুটি তৈরি হতে পারে, নিউক্লিয়েশন ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়, যা ডিফিউশন গঠনের জন্য আরও সহায়ক - প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন মোড।
(৪) আলগাভাবে আবদ্ধ পরমাণুগুলির অগ্রাধিকারমূলক অপসারণ। পৃষ্ঠের পরমাণুগুলির স্পুটারিং স্থানীয় বন্ধন অবস্থার দ্বারা নির্ধারিত হয় এবং পৃষ্ঠের আয়ন বোমাবর্ষণের ফলে আলগাভাবে আবদ্ধ পরমাণুগুলি স্পুটার হওয়ার সম্ভাবনা বেশি। এই প্রভাবটি প্রসারণ-প্রতিক্রিয়াশীল ইন্টারফেস গঠনে আরও স্পষ্ট।
(৫) পৃষ্ঠতলের আবরণ উন্নত করা এবং প্লেটিং বাইপাসের উন্নতি করা। আয়ন প্লেটিং-এর উচ্চ কার্যক্ষম গ্যাস চাপের কারণে, বাষ্পীভূত বা ছিটকে পড়া পরমাণুগুলি গ্যাস পরমাণুর সাথে সংঘর্ষের শিকার হয় যাতে বিক্ষিপ্ততা বৃদ্ধি পায়, যার ফলে ভাল আবরণ মোড়ানোর বৈশিষ্ট্য তৈরি হয়।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-০৯-২০২৩