- তাপীয় সিভিডি প্রযুক্তি
শক্ত আবরণ মূলত ধাতব সিরামিক আবরণ (TiN, ইত্যাদি) যা আবরণে ধাতুর বিক্রিয়া এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসীকরণের মাধ্যমে তৈরি হয়। প্রথমে, তাপীয় CVD প্রযুক্তি ব্যবহার করে 1000 ℃ উচ্চ তাপমাত্রায় তাপ শক্তি দ্বারা সংমিশ্রণ বিক্রিয়ার সক্রিয়করণ শক্তি প্রদান করা হত। এই তাপমাত্রা কেবল সিমেন্টেড কার্বাইড সরঞ্জামগুলিতে TiN এবং অন্যান্য শক্ত আবরণ জমা করার জন্য উপযুক্ত। এখনও পর্যন্ত, সিমেন্টেড কার্বাইড সরঞ্জামের মাথায় TiN – Al2O3 যৌগিক আবরণ জমা করার জন্য এটি একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রযুক্তি।
- ফাঁকা ক্যাথোড আয়ন আবরণ এবং গরম তারের চাপ আয়ন আবরণ
১৯৮০-এর দশকে, প্রলিপ্ত কাটিয়া সরঞ্জাম জমা করার জন্য ফাঁপা ক্যাথোড আয়ন আবরণ এবং গরম তারের আর্ক আয়ন আবরণ ব্যবহার করা হত। এই উভয় আয়ন আবরণ প্রযুক্তিই আর্ক ডিসচার্জ আয়ন আবরণ প্রযুক্তি, যার ধাতব আয়নীকরণ হার ২০% ~ ৪০% পর্যন্ত।
- ক্যাথোড আর্ক আয়ন আবরণ
ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন ক্যাটিং-এর উত্থানের ফলে ছাঁচে শক্ত আবরণ জমা করার প্রযুক্তির বিকাশ ঘটেছে। ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণের আয়নীকরণ হার 60%~90%, যা প্রচুর পরিমাণে ধাতব আয়ন এবং বিক্রিয়া গ্যাস আয়নগুলিকে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে পৌঁছাতে দেয় এবং এখনও উচ্চ কার্যকলাপ বজায় রাখে, যার ফলে বিক্রিয়া জমা হয় এবং TiN-এর মতো শক্ত আবরণ তৈরি হয়। বর্তমানে, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণ প্রযুক্তি মূলত ছাঁচে শক্ত আবরণ জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
ক্যাথোড আর্ক সোর্স হল একটি কঠিন-অবস্থার বাষ্পীভবন উৎস যার কোনও স্থির গলিত পুল নেই, এবং আর্ক সোর্সের অবস্থান ইচ্ছামত স্থাপন করা যেতে পারে, যা আবরণ ঘরের স্থান ব্যবহারের হার উন্নত করে এবং চুল্লির লোডিং ক্ষমতা বৃদ্ধি করে। ক্যাথোড আর্ক সোর্সের আকারের মধ্যে রয়েছে ছোট বৃত্তাকার ক্যাথোড আর্ক সোর্স, কলামার আর্ক সোর্স এবং আয়তাকার সমতল বৃহৎ আর্ক সোর্স। ছোট আর্ক সোর্স, কলামার আর্ক সোর্স এবং বৃহৎ আর্ক সোর্সের বিভিন্ন উপাদানগুলিকে মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম এবং ন্যানো মাল্টিলেয়ার ফিল্ম জমা করার জন্য আলাদাভাবে সাজানো যেতে পারে। এদিকে, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন লেপের উচ্চ ধাতব আয়নীকরণ হারের কারণে, ধাতব আয়নগুলি আরও বেশি বিক্রিয়া গ্যাস শোষণ করতে পারে, যার ফলে বিস্তৃত প্রক্রিয়া পরিসর এবং চমৎকার শক্ত আবরণ পেতে সহজ অপারেশন হয়। তবে, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন লেপ দ্বারা প্রাপ্ত আবরণ স্তরের মাইক্রো-কাঠামোতে মোটা ফোঁটা রয়েছে। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, ফিল্ম লেয়ারের কাঠামো পরিমার্জন করার জন্য অনেক নতুন প্রযুক্তি আবির্ভূত হয়েছে, যা আর্ক আয়ন লেপ ফিল্মের গুণমান উন্নত করেছে।
পোস্টের সময়: জুলাই-২০-২০২৩