Оборудването за вакуумно плазмено почистване е с интегрирана структура, оборудвано с RF йонна почистваща система, напълно автоматично управление, удобна работа и поддръжка.
Високочестотният радиочестотен генератор може да генерира плазма с висока плътност, да активира, ецва и опепелява повърхността на детайла, ефективно да отстранява праха и мазнините от повърхността на продукта, да освобождава повърхностното напрежение и да постига различни модификации на повърхността на детайла.
Приложим е за каучук, стъкло, керамика, метал и други продукти и се прилага в микроелектроника, LCD, LED, LCM, печатни платки, полупроводникови опаковки, медицински изделия, експерименти в областта на науките за живота и други области.