Membran atomlarının çökməsi başlayanda ion bombardmanı membran/substrat interfeysinə aşağıdakı təsirləri göstərir.
(1) Fiziki qarışdırma. Yüksək enerjili ion inyeksiyası, çökdürülmüş atomların püskürməsi və səth atomlarının geri çəkilmə yeridilməsi və şəlalə toqquşması fenomeni səbəbindən substrat elementlərinin və membran elementlərinin diffuziyasız qarışmasının membran/baza interfeysinin səthə yaxın sahəsinə səbəb olacaq, bu qarışdırma effekti membran/membran formalaşması üçün keçirici olacaqdır. “Yalançı diffuziya təbəqəsi”, yəni membran/baza interfeysi arasında bir neçə mikrona qədər qalınlığa qədər keçid təbəqəsi. Bir neçə mikrometr qalınlığında, hətta yeni fazalar görünə bilər. Bu, membranın / əsas interfeysinin yapışma gücünü artırmaq üçün çox əlverişlidir.
(2) Təkmilləşdirilmiş diffuziya. Səthə yaxın bölgədə yüksək qüsur konsentrasiyası və yüksək temperatur diffuziya sürətini artırır. Səth nöqtə qüsuru olduğundan, kiçik ionlar səthi əyməyə meyllidir və ion bombardmanı səthin əyilməsini daha da gücləndirir və çökdürülmüş və substrat atomlarının qarşılıqlı diffuziyasını gücləndirir.
(3) Təkmilləşdirilmiş nüvələşmə rejimi. Substrat səthində kondensasiya olunmuş atomun xassələri onun səthi qarşılıqlı təsiri və səthdə miqrasiya xüsusiyyətləri ilə müəyyən edilir. Kondensasiya olunmuş atom və substratın səthi arasında güclü qarşılıqlı təsir yoxdursa, atom yüksək enerjili mövqedə nüvələşənə və ya digər yayılan atomlarla toqquşana qədər səthdə yayılacaq. Bu nüvələşmə rejiminə qeyri-reaktiv nüvələşmə deyilir. Orijinal qeyri-reaktiv nüvələşmə rejiminə aid olsa belə, substratın səthinin ion bombardmanı ilə daha çox qüsur yarada bilər, nüvələşmə sıxlığını artırır, bu da diffuziya - reaktiv nüvələşmə rejiminin formalaşmasına daha çox kömək edir.
(4) Sərbəst bağlanmış atomların imtiyazlı çıxarılması. Səth atomlarının püskürməsi yerli bağlanma vəziyyəti ilə müəyyən edilir və səthin ion bombardmanı daha çox boş bağlanmış atomları püskürür. Bu təsir diffuziya-reaktiv interfeyslərin formalaşmasında daha qabarıq şəkildə özünü göstərir.
(5) Səth örtüyünün yaxşılaşdırılması və örtüklü keçidin təkmilləşdirilməsi. İon örtüyünün yüksək işçi qaz təzyiqinə görə, buxarlanmış və ya püskürən atomlar səpilməni artırmaq üçün qaz atomları ilə toqquşmağa məruz qalır, nəticədə yaxşı örtüyü əhatə edən xüsusiyyətlər əldə edilir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 09 dekabr 2023-cü il