Sərt örtüklərin qoyulması üçün ənənəvi üsullar

1. Termal CVD texnologiyası

Sərt örtüklər əsasən metal keramika örtükləridir (TiN və s.), örtükdə metalın reaksiyası və reaktiv qazlaşdırma nəticəsində əmələ gəlir. Əvvəlcə termal CVD texnologiyası 1000 ℃ yüksək temperaturda istilik enerjisi ilə Kombinasiya reaksiyasının aktivləşmə enerjisini təmin etmək üçün istifadə edilmişdir. Bu temperatur yalnız sementlənmiş karbid alətlər üzərində TiN və digər bərk örtüklərin çökdürülməsi üçün uyğundur. Bu günə qədər bu, TiN – Al2O3 kompozit örtüklərinin sementlənmiş karbid alət başlıqlarına çökdürülməsi üçün hələ də vacib texnologiyadır.

1. İçi boş katod ion örtüyü və isti tel qövs ion örtüyü

1980-ci illərdə, örtülmüş kəsici alətləri yerləşdirmək üçün içi boş katod ion örtüyü və isti tel qövs ion örtüyü istifadə edilmişdir. Bu ion örtük texnologiyalarının hər ikisi metal ionlaşma dərəcəsi 20% ~ 40% -ə qədər olan qövs boşalma ion örtük texnologiyalarıdır.

1. Katod qövsü ion örtüyü

Katodik qövs ionlarının meydana gəlməsi kalıplara bərk örtüklərin çökdürülməsi texnologiyasının inkişafına səbəb oldu. Katodik qövs ion örtüyünün ionlaşma dərəcəsi 60% ~ 90% təşkil edir ki, bu da çoxlu sayda metal ionlarının və reaksiya qaz ionlarının iş parçasının səthinə çatmasına və hələ də yüksək aktivliyə malik olmasına imkan verir, nəticədə reaksiya çökməsi və TiN kimi sərt örtüklərin əmələ gəlməsi ilə nəticələnir. Hal-hazırda katod qövs ion örtük texnologiyası əsasən qəliblərə bərk örtüklərin çökdürülməsi üçün istifadə olunur.

Katod qövs mənbəyi sabit ərimiş hovuzu olmayan bərk vəziyyətdə olan buxarlanma mənbəyidir və qövs mənbəyi mövqeyi özbaşına yerləşdirilə bilər, örtük otağının yerdən istifadə dərəcəsini yaxşılaşdırır və sobanın yükləmə qabiliyyətini artırır. Katod qövs mənbələrinin formalarına kiçik dairəvi katod qövs mənbələri, sütunlu qövs mənbələri və düzbucaqlı düz böyük qövs mənbələri daxildir. Kiçik qövs mənbələrinin, sütunlu qövs mənbələrinin və böyük qövs mənbələrinin müxtəlif komponentləri çox qatlı filmləri və nano çox qatlı filmləri yerləşdirmək üçün ayrıca təşkil edilə bilər. Eyni zamanda, katodik qövs ion örtüyünün yüksək metal ionlaşma sürətinə görə, metal ionları daha çox reaksiya qazını udmaq qabiliyyətinə malikdir, nəticədə geniş bir proses diapazonu və əla sərt örtüklər əldə etmək üçün sadə əməliyyat təmin edilir. Bununla belə, katod qövs ion örtüyü ilə əldə edilən örtük təbəqəsinin mikro strukturunda qaba damlalar var. Son illərdə film təbəqəsinin strukturunu təkmilləşdirmək üçün bir çox yeni texnologiyalar ortaya çıxdı ki, bu da qövs ion örtüklü filmin keyfiyyətini yaxşılaşdırdı.