هناك طريقتان رئيسيتان للترسيب بمساعدة حزمة الأيونات: الأولى هي التهجين الديناميكي، والثانية هي التهجين الساكن. يشير الأول إلى أن الغشاء في عملية النمو يكون مصحوبًا دائمًا بطاقة وتيار شعاعي معينين من القصف الأيوني والفيلم؛ أما الثاني، فيتم ترسيب طبقة من الغشاء يقل سمكها عن بضعة نانومترات مسبقًا على سطح الركيزة، ثم القصف الأيوني الديناميكي، ويمكن تكراره عدة مرات لنمو طبقة الغشاء.
تتراوح طاقات حزمة الأيونات المختارة لترسيب الأغشية الرقيقة بمساعدة حزمة الأيونات بين 30 و100 كيلو فولت. ويعتمد نطاق الطاقة المختار على نوع التطبيق الذي يُصنّع من أجله الغشاء. على سبيل المثال، ينبغي اختيار طاقة قصف أعلى لتحضير الحماية من التآكل، والتآكل الميكانيكي، والطلاءات الزخرفية، وغيرها من الأغشية الرقيقة. تُظهر التجارب أنه، مثل اختيار طاقة قصف حزمة الأيونات بين 20 و40 كيلو فولت، فإن مادة الركيزة والأغشية نفسها لن تؤثر على أداء التلف واستخدامه. عند تحضير الأغشية الرقيقة للأجهزة البصرية والإلكترونية، ينبغي اختيار ترسيب حزمة الأيونات منخفض الطاقة، مما يقلل من امتصاص الضوء ويتجنب تكوين العيوب النشطة كهربائيًا، ويسهل أيضًا تكوين بنية الحالة المستقرة للغشاء. وقد أظهرت الدراسات أنه يمكن الحصول على أغشية ذات خصائص ممتازة باختيار طاقات أيونية أقل من 500 فولت.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١١ مارس ٢٠٢٤