عندما يبدأ ترسب ذرات الغشاء، يكون لقصف الأيونات التأثيرات التالية على واجهة الغشاء/الركيزة.
(١) الاختلاط الفيزيائي. بسبب حقن الأيونات عالية الطاقة، ورش الذرات المترسبة، وحقن ارتداد الذرات السطحية، وظاهرة التصادم المتتالي، ستؤدي المساحة القريبة من سطح واجهة الغشاء/القاعدة لعناصر الركيزة وعناصر الغشاء إلى اختلاط غير انتشاري. سيؤدي تأثير الاختلاط هذا إلى تكوين "طبقة شبه انتشارية" بين واجهة الغشاء/القاعدة، وهي طبقة انتقالية بين واجهة الغشاء/القاعدة، يصل سمكها إلى بضعة ميكرونات. قد تظهر فيها أطوار جديدة. هذا مفيد جدًا لتحسين قوة التصاق واجهة الغشاء/القاعدة.
(٢) زيادة الانتشار. يزيد تركيز العيوب العالي في المنطقة القريبة من السطح وارتفاع درجة الحرارة من معدل الانتشار. ولأن السطح عيب نقطي، تميل الأيونات الصغيرة إلى انحرافه، ويؤدي القصف الأيوني إلى زيادة انحراف السطح وتعزيز الانتشار المتبادل للذرات المترسبة والركيزة.
(٣) نمط نووي مُحسّن. تُحدَّد خصائص الذرة المُكثَّفة على سطح الركيزة من خلال تفاعلها السطحي وخصائص انتقالها عليه. في حال عدم وجود تفاعل قوي بين الذرة المُكثَّفة وسطح الركيزة، تنتشر الذرة على السطح حتى تتنوَّى في موضع طاقة عالية أو تصطدم بذرات مُشتِّتة أخرى. يُسمى هذا النمط من التنوُّى بالتنوُّى غير التفاعلي. حتى في حالة انتمائها إلى نمط التنوُّى غير التفاعلي، فإنَّ قصف الأيونات لسطح الركيزة قد يُنتج المزيد من العيوب، مما يزيد من كثافة التنوُّى، مما يُساعد على تكوين نمط التنوُّى التفاعلي - الانتشاري.
(٤) الإزالة التفضيلية للذرات ذات الروابط الضعيفة. يتحدد تناثر ذرات السطح بحالة الرابطة المحلية، ويزيد احتمال تناثر الذرات ذات الروابط الضعيفة نتيجة قصف الأيونات للسطح. يتجلى هذا التأثير بشكل أوضح في تكوين الواجهات التفاعلية الانتشارية.
(5) تحسين تغطية السطح وتعزيز تجاوز الطلاء. بفضل ضغط الغاز العامل العالي في الطلاء الأيوني، تتعرض الذرات المتبخرة أو المرشوشة للتصادم مع ذرات الغاز لتعزيز التشتت، مما يؤدي إلى خصائص التفاف طلاء جيدة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: 9 ديسمبر 2023