የቫኩም ትነት ሽፋን የፊልም ንብርብር የእድገት ህግ

በትነት ሽፋን ወቅት, የፊልም ሽፋን ኒዩክሊየሽን እና እድገቱ የተለያዩ የ ion ሽፋን ቴክኖሎጂ መሰረት ነው

1.Nucleation

Inየቫኩም ትነት ሽፋን ቴክኖሎጂየፊልም ንብርብር ቅንጣቶች አተሞች መልክ በትነት ምንጭ ከ ተነነ በኋላ, ከፍተኛ ቫክዩም ውስጥ workpiece ወደ በቀጥታ መብረር እና workpiece ወለል ላይ nucleation እና እድገት በማድረግ ፊልም ንብርብር ይመሰርታሉ. በቫክዩም ትነት ጊዜ፣ ከትነት ምንጭ የሚወጣው የፊልም ንብርብር አተሞች ኃይል 0.2eV አካባቢ ነው። በፊልሙ ንብርብር ቅንጣቶች መካከል ያለው ቅንጅት በፊልሙ ንብርብር አተሞች እና በስራው ክፍል መካከል ካለው ትስስር ኃይል የበለጠ በሚሆንበት ጊዜ የደሴት አስኳል ይመሰረታል። ነጠላ የፊልም ንብርብር አቶም መደበኛ ያልሆነ እንቅስቃሴ ፣ ስርጭት ፣ ፍልሰት ወይም ከሌሎች አተሞች ጋር ግጭት በመፍጠር በ workpiece ላይ ለተወሰነ ጊዜ ይቆያል በአቶሚክ ክላስተር ውስጥ ያሉት አቶሞች ብዛት የተወሰነ ወሳኝ እሴት ላይ ደርሷል ፣ የተረጋጋ አስኳል ይመሰረታል ፣ ተመሳሳይ ቅርፅ ያለው ኒውክሊየስ ይባላል።

ለስላሳ, እና ብዙ ጉድለቶች እና ደረጃዎች ይዟል, ይህም ወደ workpiece የተለያዩ ክፍሎች adsorption ኃይል ውስጥ ያለውን ልዩነት ወደ ሬዲዮአክቲቭ አተሞች ያስከትላል. ጉድለቱ ላይ ያለው የማስታወቂያ ኃይል ከመደበኛው ወለል የበለጠ ነው ፣ ስለሆነም ንቁ ማእከል ይሆናል ፣ እሱም ለቅድመ-ነክነት ተስማሚ ፣ heterogeneous nucleation ይባላል። የተቀናጀ ኃይል ከማስያዣው ኃይል ጋር እኩል ከሆነ ወይም በሜምፕል አተሞች እና በ workpiece መካከል ያለው ትስስር ከሽፋን አተሞች መካከል ካለው ትስስር ኃይል የበለጠ ከሆነ የላሜራ መዋቅር ይፈጠራል። በ ion plating ቴክኖሎጂ ውስጥ, ደሴት ኮር በአብዛኛዎቹ ሁኔታዎች ይመሰረታል.

2. እድገት

የፊልሙ እምብርት ከተፈጠረ በኋላ የተከሰቱትን አቶሞች በማጥመድ ማደጉን ይቀጥላል።ደሴቶቹ ያድጋሉ እና እርስ በእርሳቸው ይዋሃዳሉ ትላልቅ hemispheres , ቀስ በቀስ በ workpiece ወለል ላይ የሚዘረጋ ሄሚፈርሪካል ደሴት ሽፋን ይፈጥራሉ.

የፊልም ንብርብር የአቶሚክ ኃይል ከፍ ባለበት ጊዜ በመሬቱ ላይ በበቂ ሁኔታ ሊሰራጭ ይችላል እና በቀጣይ የሚመጡ የአቶሚክ ስብስቦች ትንሽ ሲሆኑ ለስላሳ ቀጣይነት ያለው ፊልም ሊፈጠር ይችላል.በላይኛው ላይ የአተሞች ስርጭት ደካማ ከሆነ እና የተከማቹ ስብስቦች መጠን ትልቅ ከሆነ, እንደ ትልቅ ፔኒንስላር ኒውክሊየስ ይገኛሉ. የደሴቲቱ የላይኛው ክፍል በጠንካራው የሻወር ጫፍ ላይ ተጽእኖ ያሳድራል. ተፅዕኖ"" የገጽታ ትንበያ በቀጣይ የተከማቹ አተሞችን እና ተመራጭ እድገትን ለመያዝ የበለጠ ምቹ ነው, በዚህም ምክንያት በቂ መጠን ያላቸው ሾጣጣ ወይም አምድ ክሪስታሎች እንዲፈጠሩ ላይ የንድፍ መጠን መጨመር ያስከትላል. በሾጣጣው ክሪስታሎች መካከል ዘልቆ የሚገባ ባዶዎች ይፈጠራሉ እና የንጣፉ ሸካራነት ዋጋ ይጨምራል ጥሩ ቲሹ በከፍተኛ ክፍተት ሊገኝ ይችላል, የቫኩም ዲግሪ ሲቀንስ, የሽፋኑ ማይክሮስትራክሽን የበለጠ ወፍራም እና ወፍራም ይሆናል.