Ion beam የታገዘ የማስቀመጫ ሁነታ እና የኃይል ምርጫው

በ ion beam የታገዘ ማስቀመጫ ሁለት ዋና ዋና ሁነታዎች አሉ, አንዱ ተለዋዋጭ ድብልቅ ነው; ሌላው የማይንቀሳቀስ ድብልቅ ነው። የመጀመሪያው የሚያመለክተው በእድገት ሂደት ውስጥ ያለውን ፊልም ሁልጊዜ ከተወሰነ የኃይል እና የጨረር ጨረር የ ion bombardment እና ፊልም ጋር ነው; የኋለኛው ከፊልሙ ንብርብር ከጥቂት ናኖሜትር ያነሰ ውፍረት ባለው ንጣፍ ላይ ቅድመ-ተቀማጭ እና ከዚያም ተለዋዋጭ ion bombardment እና ብዙ ጊዜ ሊደገም ይችላል እና የፊልም ሽፋን እድገት።

ለ ion beam የታገዘ ቀጭን ፊልሞች ለማስቀመጥ የተመረጠው የ ion beam ኃይላት ከ 30 eV እስከ 100 ኪ.ቪ. የሚመረጠው የኢነርጂ ክልል ፊልሙ በሚቀነባበርበት የአተገባበር አይነት ይወሰናል. ለምሳሌ, የዝገት መከላከያ, ፀረ-ሜካኒካል አልባሳት, የጌጣጌጥ ሽፋን እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞች ማዘጋጀት ከፍተኛ የቦምብ ኃይል መመረጥ አለበት. ሙከራዎች እንደሚያሳዩት ከ 20 እስከ 40 ኪ.ቮ የኢነርጂ የ ion ጨረር ቦምብ ምርጫ, የንጥረ ነገሮች እና ፊልሙ እራሱ የጉዳቱን አፈፃፀም እና አጠቃቀም ላይ ተጽእኖ አያመጣም. ለጨረር እና ለኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች ቀጭን ፊልሞችን በሚዘጋጅበት ጊዜ ዝቅተኛ የኢነርጂ ion ጨረር የታገዘ ማስቀመጫ መመረጥ አለበት, ይህም የብርሃን ማራዘሚያን ይቀንሳል እና በኤሌክትሪክ የሚሰሩ ጉድለቶች እንዳይፈጠሩ ብቻ ሳይሆን የሽፋኑን ቋሚ ሁኔታ አወቃቀር ያመቻቻል. ጥናቶች እንደሚያሳዩት እጅግ በጣም ጥሩ ባህሪያት ያላቸው ፊልሞች ከ 500 eV ያነሰ የኢነርጂ ኃይልን በመምረጥ ማግኘት ይቻላል.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ