ጠንካራ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ የተለመዱ ዘዴዎች

1. የሙቀት CVD ቴክኖሎጂ

ጠንካራ ሽፋኖች በአብዛኛው የብረት ሴራሚክ ሽፋን (ቲኤን, ወዘተ) ናቸው, እነዚህም በብረታ ብረት ምላሽ እና ምላሽ ሰጪ ጋዞች አማካኝነት የተገነቡ ናቸው. በመጀመሪያ፣ የቴርማል ሲቪዲ ቴክኖሎጂ በ 1000 ℃ ከፍተኛ የሙቀት መጠን የጥምረት ምላሽን በሙቀት ኃይል የማግበር ኃይልን ለማቅረብ ጥቅም ላይ ውሏል። ይህ የሙቀት መጠን ቲኤን እና ሌሎች ጠንካራ ሽፋኖችን በሲሚንቶ ካርበይድ መሳሪያዎች ላይ ለማስቀመጥ ብቻ ተስማሚ ነው. እስካሁን ድረስ በሲሚንቶ ካርበይድ መሳሪያ ጭንቅላት ላይ የቲኤን - አል2O3 ድብልቅ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ አሁንም ጠቃሚ ቴክኖሎጂ ነው.

1. ባዶ ካቶድ ion ሽፋን እና ሙቅ ሽቦ አርክ ion ሽፋን

በ 1980 ዎቹ ውስጥ, ባዶ ካቶድ ion ሽፋን እና ሙቅ ሽቦ አርክ ion ሽፋን የተሸፈኑ የመቁረጫ መሳሪያዎችን ለማስቀመጥ ያገለግሉ ነበር. እነዚህ ሁለቱም የ ion ልባስ ቴክኖሎጂዎች የአርሲ ፈሳሽ ion ሽፋን ቴክኖሎጂዎች ናቸው, የብረት ionization ፍጥነት እስከ 20% ~ 40% ድረስ.

1. ካቶድ አርክ ion ሽፋን

የካቶዲክ አርክ ion ካቲንግ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ማለት ነው. የካቶዲክ ቅስት አዮን ሽፋን ionization መጠን 60% ~ 90% ነው, ይህም የብረት አየኖች እና ምላሽ ጋዝ አየኖች መካከል ትልቅ ቁጥር workpiece ላይ ላዩን ላይ ለመድረስ እና አሁንም ከፍተኛ እንቅስቃሴ ለመጠበቅ በመፍቀድ, ምላሽ ተቀማጭ እና እንደ TiN ያሉ ጠንካራ ሽፋን ምስረታ. በአሁኑ ጊዜ የካቶዲክ አርክ ion ሽፋን ቴክኖሎጂ በዋናነት በሻጋታ ላይ ጠንካራ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ ያገለግላል።

የካቶድ ቅስት ምንጭ ቋሚ ቀልጦ ገንዳ ከሌለው ጠንካራ-ግዛት የትነት ምንጭ ነው ፣ እና የአርክ ምንጭ አቀማመጥ በዘፈቀደ ሊቀመጥ ይችላል ፣ ይህም የሽፋኑን ክፍል የቦታ አጠቃቀም መጠን ያሻሽላል እና የምድጃውን የመጫን አቅም ይጨምራል። የካቶድ ቅስት ምንጮች ቅርፆች ትናንሽ ክብ የካቶድ ቅስት ምንጮች፣ የአዕማድ ቅስት ምንጮች እና አራት ማዕዘን ቅርጽ ያላቸው ጠፍጣፋ ትላልቅ የአርክ ምንጮች ያካትታሉ። ባለብዙ-ንብርብር ፊልሞችን እና ናኖ ባለ ብዙ ሽፋን ፊልሞችን ለማስቀመጥ የተለያዩ የትናንሽ አርክ ምንጮች ፣ የአምድ አርክ ምንጮች እና ትላልቅ የአርኪ ምንጮች ለየብቻ ሊዘጋጁ ይችላሉ። ይህ በእንዲህ እንዳለ በካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን ከፍተኛ የብረት ionization ፍጥነት ምክንያት የብረት ionዎች ተጨማሪ የአጸፋዊ ጋዞችን ሊወስዱ ይችላሉ, በዚህም ምክንያት በጣም ጥሩ ደረቅ ሽፋን ለማግኘት ሰፊ የሂደት ክልል እና ቀላል ቀዶ ጥገና ያስገኛል. ይሁን እንጂ በካቶዲክ አርክ ion ሽፋን የተገኘ የሽፋን ሽፋን ማይክሮ-መዋቅር ውስጥ ትላልቅ ጠብታዎች አሉ. በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የፊልም ንብርብር መዋቅርን ለማጣራት ብዙ አዳዲስ ቴክኖሎጂዎች ብቅ አሉ, ይህም የአርኪን ሽፋን ፊልም ጥራት አሻሽሏል.