Titọka Magnetron ni akọkọ pẹlu gbigbe gbigbe pilasima itusilẹ, etching ibi-afẹde, ifisilẹ fiimu tinrin ati awọn ilana miiran, aaye oofa lori ilana sputtering magnetron yoo ni ipa kan. Ninu eto sputtering magnetron pẹlu aaye oofa orthogonal, awọn elekitironi jẹ koko-ọrọ si ipa ti ipa Lorentz ati ṣe iṣipopada itọpa ajija, gbọdọ faragba ijamba nigbagbogbo lati lọ siwaju si anode, nitori ijamba naa jẹ apakan ti awọn elekitironi lati de anode lẹhin agbara jẹ kekere, ooru ti bombardment lori sobusitireti tun ko tobi. Ni afikun, nitori elekitironi nipasẹ awọn ihamọ aaye oofa ibi-afẹde, ni aaye ibi-afẹde ti ipa oofa ti agbegbe ti o wa laarin oju-ọna ojuonaigberaokoofurufu agbegbe kekere agbegbe ti ifọkansi elekitironi ga pupọ, ati ni ipa oofa ti agbegbe ni ita sobusitireti dada, ni pataki kuro ni aaye oofa nitosi dada, ifọkansi elekitironi nitori pipinka ti isalẹ pupọ ati iyatọ ti o jọmọ gaasi, ati paapaa gaasi kekere ti awọn ipo isọdi ti o kere ju, ati paapaa gaasi kekere ti awọn ipo isọdọkan. ti aṣẹ titobi). Awọn iwuwo kekere ti awọn elekitironi bombarding awọn dada ti awọn sobusitireti, ki awọn bombardment ti sobusitireti ṣẹlẹ nipasẹ awọn kekere otutu jinde, eyi ti o jẹ akọkọ siseto ti magnetron sputtering sobusitireti otutu dide ni kekere. Ni afikun, ti o ba wa ni aaye itanna nikan, awọn elekitironi de anode lẹhin ijinna kukuru pupọ, ati pe iṣeeṣe ijamba pẹlu gaasi ṣiṣẹ jẹ 63.8%. Ati ṣafikun aaye oofa, awọn elekitironi ninu ilana gbigbe si anode lati ṣe iṣipopada ajija, aaye oofa ti a dè ati fa itọpa ti awọn elekitironi, ni ilọsiwaju pupọ iṣeeṣe ti ijamba ti awọn elekitironi ati awọn gaasi ṣiṣẹ, eyiti o ṣe igbega pupọ si iṣẹlẹ ti ionization, ionization ati lẹhinna gbejade awọn elekitironi tun darapọ mọ ilana ti ijagba pọ si nipasẹ ọpọlọpọ awọn elekitironi. titobi, lilo imunadoko ti agbara ti awọn elekitironi, ati nitorinaa ni dida iwuwo giga ti iwuwo pilasima pọ si ni itusilẹ itanna anomalous ti pilasima. Awọn oṣuwọn ti sputtering jade awọn atomu lati ibi-afẹde ti wa ni tun pọ, ati awọn afojusun sputtering ṣẹlẹ nipasẹ bombardment ti awọn afojusun nipa rere ions jẹ diẹ munadoko, eyi ti o jẹ idi fun awọn ga oṣuwọn ti magnetron sputtering ifipamọ. Ni afikun, wiwa aaye oofa naa tun le jẹ ki eto sputtering ti n ṣiṣẹ ni titẹ afẹfẹ kekere, kekere 1 fun titẹ afẹfẹ le ṣe awọn ions ni agbegbe apofẹlẹfẹlẹ apofẹlẹfẹlẹ lati dinku ijamba, bombardment ti ibi-afẹde pẹlu agbara kainetik ti o tobi pupọ, ati ọjọ lati ni anfani lati dinku awọn ọta ibi-afẹde sputtered ati ijamba eedu gaasi, lati ṣe idiwọ awọn ohun elo ibi-afẹde lati tuka lati dada ti ibi-afẹde si ẹhin ibi-afẹde naa. oṣuwọn ati didara ifisilẹ fiimu tinrin.
Aaye oofa ibi-afẹde le ṣe imunadoko ipa ọna ti awọn elekitironi, eyiti o ni ipa lori awọn ohun-ini pilasima ati etching ti awọn ions lori ibi-afẹde.
Wa kakiri: pọ si isokan ti aaye oofa ibi-afẹde le ṣe alekun isokan ti etching dada ibi-afẹde, nitorinaa imudarasi iṣamulo ti ohun elo ibi-afẹde; pinpin aaye itanna eleto tun le mu imunadoko ilọsiwaju ti ilana sputtering. Nitorinaa, fun ibi-afẹde sputtering magnetron, iwọn ati pinpin aaye oofa jẹ pataki pupọ.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-14-2023