Pẹlu idagbasoke ti npo si ti wiwa sputtering, paapaa imọ-ẹrọ ti a bo sputtering sputtering, ni bayi, fun eyikeyi ohun elo le ti wa ni pese sile nipa ion bombardment fiimu, nitori awọn ibi-afẹde ti wa ni sputtered ninu awọn ilana ti a bo o si diẹ ninu awọn Iru sobusitireti, awọn didara ti awọn fiimu wiwọn ni ipa pataki, nitorina, awọn ibeere fun ohun elo ibi-afẹde tun jẹ okun sii. Ni yiyan awọn ohun elo ibi-afẹde, ni afikun si lilo fiimu funrararẹ yẹ ki o yan, o yẹ ki o tun gbero awọn ọran wọnyi:
Awọn ohun elo afojusun yẹ ki o ni agbara ẹrọ ti o dara ati iduroṣinṣin kemikali lẹhin fiimu naa;
Ibi-afẹde ati sobusitireti gbọdọ wa ni idapo ṣinṣin, bibẹẹkọ o yẹ ki o mu pẹlu sobusitireti ni apapo ti o dara ti Layer awo, akọkọ sputtering fiimu ipilẹ kan ati lẹhinna igbaradi ti Layer membran ti a beere;
Bi awọn kan lenu sputtering sinu awo awọn ohun elo ti gbọdọ jẹ rorun lati fesi pẹlu gaasi lati se ina kan yellow film.
Labẹ ipilẹ ti ipade awọn ibeere iṣẹ ti awo ilu, iyatọ laarin olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona ti ohun elo ibi-afẹde ati sobusitireti jẹ kekere bi o ti ṣee ṣe, lati dinku ipa ti aapọn igbona lori awọ ara ti a tu silẹ.
Gẹgẹbi lilo ati awọn ibeere iṣẹ ti awo ilu, ohun elo ibi-afẹde gbọdọ pade mimọ, akoonu aimọ, isokan paati, iṣedede ẹrọ ati awọn ibeere imọ-ẹrọ miiran.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-09-2024